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文檔簡介
1、浙江大學碩士學位論文原子力顯微術輪廓儀的新方法研究及系統研制姓名:趙君臣申請學位級別:碩士專業(yè):光學工程指導教師:章海軍20060101浙江大學碩十論文圖形盟示、粗糙度和膜厚計算的算法;改變電感測微儀的數據輸出方式,建立電感測微儀與計算機的連接,用來檢測比較粗糙的表面。在實驗和應用方面,利用研制成功的A F MP r o f i l e r 系統,選取大量樣品進行了實驗。樣品包括多孑L 氧化鋁、光滑玻璃、標準薄鐵片、M g A l 2
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