高速雙縱模雙頻激光干涉儀系統(tǒng)的研究.pdf

1、本學(xué)位論文以實(shí)用高速雙頻激光干涉儀測(cè)量系統(tǒng)為研究目標(biāo),完成了以下研究工作:(1)提出在現(xiàn)有的具有一定優(yōu)勢(shì)的雙縱模雙頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上,對(duì)其電路系統(tǒng)進(jìn)行改進(jìn),研制具有較高測(cè)量速度(不小于1000mm/s)、有良好抗干擾性能、測(cè)量智能化及自動(dòng)化程度均較高的高速激光干涉儀系統(tǒng)的研究目標(biāo).(2)詳細(xì)介紹了雙縱模雙頻激光干涉儀的結(jié)構(gòu)組成,從理論上分析了雙頻激光干涉儀的測(cè)量原理及光外差原理,并對(duì)該干涉儀光路結(jié)構(gòu)上的三個(gè)特點(diǎn)作出介紹.(3)針對(duì)原有

2、電路系統(tǒng)的信號(hào)易有直流漂移、調(diào)整光路觀察信號(hào)不方便的不足之處提出解決方案.并給出了振蕩器頻率選擇的基本公式及對(duì)混頻后信號(hào)進(jìn)行自動(dòng)增益控制(AGC)放大穩(wěn)幅和整形處理的具體電路.(4)根據(jù)研究目標(biāo)的要求,給出了計(jì)數(shù)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)公式.以此公式為基礎(chǔ)設(shè)計(jì)出了基于8254的計(jì)數(shù)系統(tǒng)及基于74HC161的計(jì)數(shù)系統(tǒng).(5)設(shè)計(jì)出了以89C51單片機(jī)為核心的CPU測(cè)量控制及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng).(6)在完成電路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、加工及調(diào)試后,進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,實(shí)驗(yàn)結(jié)果