超精密主軸回轉誤差光學干涉測量方法研究.pdf

1、主軸回轉誤差是影響加工零件精度的重要因素之一，研究主軸回轉誤差對于尋找誤差來源、預測加工零件表面形狀誤差及提高超精密機床加工精度等具有重要意義，本文以超精密飛切機床為研究對象，對空氣靜壓主軸回轉誤差進行研究。
　　針對機床工作原理及空氣靜壓主軸結構特性，主軸傾角誤差對加工精度影響最大，本文提出一種基于干涉條紋的超精密靜壓主軸回轉誤差測量新方法，通過分析干涉條紋形狀變化規(guī)律，建立基于干涉圖像處理的主軸回轉運動誤差求解模型，從而獲得主

2、軸傾角誤差。
　　基于移相干涉測量原理，通過理論建模，建立了干涉條紋與主軸轉子運動規(guī)律之間的數(shù)學模型，并對干涉條紋形狀進行仿真分析，仿真結果與實驗現(xiàn)象觀察一致，從而印證了新方法的準確性與可靠性。
　　對干涉條紋進行灰度化處理、平滑濾波、膨脹腐蝕、邊緣檢測等圖像處理步驟獲取邊緣清晰、連續(xù)性較好的干涉條紋圖像，并在相對坐標系下求解出干涉條紋的間距和方向，根據(jù)所建立的數(shù)學模型求解出主軸傾角誤差。
　　光學平晶的裝配誤差是影響