超精密加工光學(xué)表面誤差檢測與質(zhì)量評估.pdf

1、隨著先進光學(xué)元件的設(shè)計和制造技術(shù)的發(fā)展，各種超精密加工光學(xué)元件被廣泛地應(yīng)用于航天、航空、國防、等領(lǐng)域中。與此同時，對光學(xué)元件的面形及其參數(shù)的檢測、面形質(zhì)量的評價提出了更高的要求。合理的誤差檢測方法及面形質(zhì)量評價指標(biāo)，對改善光學(xué)元件表面質(zhì)量以及提高補償加工的制造精度起著重要的作用。長期以來，誤差檢測技術(shù)的發(fā)展速度制約到超精密加工光學(xué)元件制造技術(shù)的進一步發(fā)展，各國專家投入大量的人力和物力進行研究。
　　本文主要針對超精密加工光學(xué)元件基

2、于三維坐標(biāo)測量的誤差檢測方法，和光學(xué)表面質(zhì)量評估技術(shù)進行研究。由三維坐標(biāo)測量值提取非球面光學(xué)表面方程參數(shù)，尤其針對面形標(biāo)準(zhǔn)方程復(fù)雜的非軸對稱非球面，提出一種準(zhǔn)確的參數(shù)擬合方法。同時，在光學(xué)元件表面中頻誤差評估方面做了較為深入的探索。本文主要研究內(nèi)容包括:
　　1.根據(jù)輪廓儀測量的三維光學(xué)表面坐標(biāo)值，提出基于初值估計的非球面光學(xué)表面標(biāo)準(zhǔn)方程參數(shù)提取方法，經(jīng)實驗驗證可以達到較高精度。
　　2.對強光系統(tǒng)中引起非線性自聚焦的中頻誤