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文檔簡介
1、硅微型陀螺儀是一類新型的慣性器件,具有體積小、重量輕、成本低、動態(tài)特性好、可靠性高等獨(dú)特優(yōu)點(diǎn)。在此基礎(chǔ)上發(fā)展起來的兩自由度硅微梳狀驅(qū)動角振動陀螺儀具有廣闊的應(yīng)用前景。 本文致力于兩自由度硅微陀螺儀信號檢測技術(shù)的研究,在分析和總結(jié)了多種微弱電容檢測方案以及單自由度硅微陀螺儀檢測線路基礎(chǔ)上,設(shè)計了公共端輸出法檢測線路和公共端輸入法檢測線路,并且提出了吸放電流檢測方案。與此同時,還對兩自由度硅微陀螺儀閉環(huán)控制技術(shù)進(jìn)行了一系列的研究,
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