陣列式硅微陀螺儀結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)技術(shù)研究.pdf

1、硅微機(jī)械陀螺儀是一種有著廣闊應(yīng)用前景的新型慣性器件，目前國(guó)內(nèi)主要采用單個(gè)陀螺結(jié)構(gòu)形式。由于設(shè)計(jì)水平、檢測(cè)電路特別是加工工藝條件的限制，精度較低，同時(shí)單個(gè)陀螺結(jié)構(gòu)的硅微陀螺儀容易受到軸向加速度干擾，環(huán)境適應(yīng)性較差。本文探索另一種結(jié)構(gòu)形式，即陣列式硅微陀螺儀，利用硅微機(jī)械加工技術(shù)一次成型、批量加工的特點(diǎn)，在單片上集成多個(gè)陀螺結(jié)構(gòu)，通過(guò)數(shù)據(jù)融合技術(shù)獲得高于單個(gè)陀螺性能的綜合性能，是提高硅微陀螺儀技術(shù)水平的又一條途徑。
　　論文首先綜述硅

2、微機(jī)械陀螺儀的國(guó)內(nèi)外發(fā)展?fàn)顩r，分析硅微機(jī)械陀螺儀的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)技術(shù)和工作機(jī)理，為陣列式硅微陀螺儀的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)提供依據(jù)和指導(dǎo)。
　　其次，分析軸向加速度對(duì)硅微陀螺儀的影響和數(shù)據(jù)融合技術(shù)的基本原理，基于硅微陀螺儀結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)原則，設(shè)計(jì)陣列式硅微陀螺儀的基本結(jié)構(gòu)。通過(guò)分析比較幾種陣列式硅微陀螺儀的組合方式，選擇四陀螺單元進(jìn)行組合。利用有限元分析方法對(duì)所提出的兩種整體設(shè)計(jì)方案進(jìn)行模態(tài)分析，確定優(yōu)選方案。
　　第三，進(jìn)行陣列式硅微陀螺儀的應(yīng)力場(chǎng)