硅微振動式陀螺儀模態(tài)頻率自匹配技術(shù)研究.pdf

1、學(xué)校代碼： ! Q 2 8 壹蕁類主C!．二iV剛241．5D C 如，) 夕9 『9 密級：疊寺￡禾猢如7 ) 本9 內(nèi)U ： 6 2 l ，隸甸 大 ◆誓博士學(xué)位論文硅微振動式陀螺儀模態(tài)頻率自匹配技術(shù)研究研究生姓名： 筮露導(dǎo)師姓名： 奎宏生數(shù)授．申請學(xué)位類別 工堂懂士 學(xué)位授予單位 盔畝太堂一級學(xué)科名稱 戧器科堂與技本 論文答辯日期 2 Q 】魚璽魚且呈壘目二級學(xué)科名稱微系統(tǒng)與測控技術(shù) 學(xué)位授予日期 2 Q 】魚生 目 目答辯委員會

2、主席 塞9 建業(yè)教授 評 閱 人2 0 1 6 年7 月2 2 日S T U D Y 0 N A U T 0 Ⅳ【A T I CM O D E ．Ⅳ叢T C H I N G T E C H N O L O G Y O FS I L I C O N V I B R A T O R Y M I C R O G Y R O S C O P E SA D i s s e r t a l ：i o nS u b m i t t e d t oS

3、o u t h e a s t U n i v e r s i t yF o r t h e A c a d e m i c D e g r e e o f D o c t o r o f E n g i n e e r i n gB YX U L uS u p e r v i s e d b yP r o f ．- L IH o n g ：s h e n gS c h o o lo f I n s t r m n e n t S c