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文檔簡介
1、電致變色薄膜可用于靈巧窗,大面積、高對比度、高分辨率及無視角差的顯示屏,汽車后視鏡的自動光強調(diào)節(jié)等方面,具有很廣泛的應用前景.在眾多電致變色材料中,三氧化鎢(W03)具有著色效率高、可逆性好、響應時間短、壽命長、成本低等特點,被認為是最有發(fā)展前途的電致變色材料之一. 本課題采用電子束蒸發(fā)法在導電玻璃(ITO)上沉積W03薄膜,通過原子力顯微鏡(AFM)、X射線衍射儀(XRD)和紫外.可見光分光光度計對薄膜進行表征和分析,討論了不
2、同鍍膜工藝參數(shù)對薄膜形貌、結構和電致變色性能的影響,確定了較為合適的變色薄膜厚度和退火溫度. 通過對樣品的AFM分析發(fā)現(xiàn),室溫條件下所鍍薄膜隨著退火溫度的升高,晶粒逐漸增大.350℃退火的WO<,3>薄膜隨著膜厚的增加或基片溫度的升高,薄膜表面的團簇現(xiàn)象增多;束流大小對薄膜表面形貌無明顯影響. 通過對基片和靶材的XRD分析,證明了靶材呈多晶態(tài),具有三斜相結構.對室溫下所鍍薄膜退火后進行分析,結果表明W03薄膜由非晶態(tài)向晶
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