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文檔簡介
1、電致變色薄膜在信息顯示器件、汽車后視鏡、及建筑物、車輛、輪船和飛機(jī)等玻璃窗上等領(lǐng)域均具有非常廣闊的應(yīng)用前景。特別在建筑物幕墻上的應(yīng)用,具有高效、低耗、綠色、無污染、智能化的特點(diǎn),符合國民經(jīng)濟(jì)的可持續(xù)發(fā)展戰(zhàn)略的要求。目前對氧化鎢(WO<,3>)氧化鎳(NiO)薄膜的研究主要集中在溶膠.凝膠法和磁控濺射法等方法制備的薄膜上,對電子束蒸發(fā)沉積法制備薄膜的研究很少。 本課題旨在用電子束蒸發(fā)方法制備WO<,3>/NiO電致變色的薄膜材料,
2、通過實(shí)驗(yàn)研究優(yōu)化其性能和工藝參數(shù),在單層膜器件基礎(chǔ)上進(jìn)一步提出可使用真空工藝制作的復(fù)合全固態(tài)電致變色器件結(jié)構(gòu)模型。 論文使用電子束蒸發(fā)方法成功制備了WO<,3>電致變色薄膜,通過大量實(shí)驗(yàn)和分析測試優(yōu)化了薄膜電致變色性能和制備工藝參數(shù),實(shí)驗(yàn)樣品穩(wěn)定實(shí)現(xiàn)了退色態(tài)、著色態(tài)的透過率差值在55%左右。著色電壓4V,退色電壓6V時(shí),器件具有能夠在兩分鐘內(nèi)完全退著色的很好的變色性能。通過紫外可見光光度計(jì),XRD等測試方法分析討論了工藝參數(shù)對W
3、O<,3>電致變色薄膜電致變色性能的影響。XRD測試分析結(jié)果證實(shí),所制備的WO<,3>薄膜為非晶態(tài)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,較低的氧壓能改善WO<,3>薄膜的電致變色性能;在一定范圍內(nèi)提高襯底溫度能改善薄膜致變色性能。 論文研究了襯底溫度和NiO薄膜電致變色性能的關(guān)系,襯底溫度對薄膜的微觀結(jié)構(gòu)沒有明顯影響。通過不同溫度下NiO薄膜在退著色狀態(tài)下的透過率光譜分析,發(fā)現(xiàn)提高襯底溫度能夠在一定程度上提高退色態(tài)的透過率,同時(shí)也提高了著色態(tài)的透過率
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