鎢氧化物（WOx）薄膜電致變色性能的研究.pdf

1、本論文選用柔性聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)為襯底材料,利用射頻(RF)磁控濺射技術(shù),低溫制備了WOx電致變色薄膜。系統(tǒng)研究了工藝參數(shù)(包括膜厚、濺射氣壓、功率和氧分量)對(duì)WOx薄膜電致變色性能的影響。 利用X射線衍射(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)、X射線光電子能譜(XPS)、紫外分光光度計(jì)、電化學(xué)系統(tǒng)等測(cè)試手段,分析了濺射所得薄膜的微觀結(jié)構(gòu)、表面形貌、成分、透射光譜以及薄膜變色響應(yīng)時(shí)間等。通過(guò)對(duì)各種工藝參數(shù)條件下制備的各

2、系列薄膜樣品著色/退色態(tài)可見(jiàn)光范圍內(nèi)透射光譜以及薄膜著色/退色響應(yīng)時(shí)間快慢的比較,尋求到薄膜呈現(xiàn)最佳電致變色性能時(shí)所對(duì)應(yīng)的制備參數(shù)：WOx/ITO/PET 薄膜在氧分量、濺射氣壓、功率、膜厚分別為0％/0.9Pa/60W/300nm條件下有較好的電致變色性能,薄膜著色/退色態(tài)的透射率差值為26％左右,在±1.2V的變色電壓下響應(yīng)速率較快,薄膜著/退色可在9～10s內(nèi)完成。 在實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ)上探討了WOx/ITO/PET薄膜的電致變色機(jī)