白光干涉術(shù)的測量系統(tǒng)與處理算法的研究.pdf

1、超精密加工與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展對(duì)微納米測量技術(shù)也提出了更高的要求。傳統(tǒng)的接觸式測頭測量效率較低，對(duì)越來越復(fù)雜的表面形貌結(jié)構(gòu)難以探測且容易劃傷表面。本文以白光干涉術(shù)為基本原理，設(shè)計(jì)完成一整套白光干涉測量儀并對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行了性能測試及溯源性分析。具體工作總結(jié)如下：
　　1.設(shè)計(jì)并搭建了白光干涉系統(tǒng)，其中包括機(jī)械支撐結(jié)構(gòu)、光學(xué)干涉模塊、圖像采集模塊、運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)等。編寫了實(shí)驗(yàn)測試上位機(jī)軟件，完善了人機(jī)交互軟件。
　　2.對(duì)白光干涉術(shù)的算

2、法進(jìn)行了研究。本文研究了時(shí)域算法，包括插值法、重心法；頻域算法，包括傅立葉算法、空間頻域法以及白光相移算法。并對(duì)各種算法給出了詳細(xì)的理論推導(dǎo)，得出每種算法的優(yōu)缺點(diǎn)和適用特點(diǎn)。
　　3.對(duì)測量系統(tǒng)的測量性能及精確度進(jìn)行了評(píng)估，實(shí)驗(yàn)說明該系統(tǒng)具有較好的測量重復(fù)性和穩(wěn)定性。與納米測量機(jī)進(jìn)行了比對(duì)實(shí)驗(yàn)，針對(duì)比對(duì)實(shí)驗(yàn)進(jìn)行了評(píng)估，并通過納米標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，納米標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階樣板，完成了對(duì)該系統(tǒng)測量的溯源性分析。
　　4.針對(duì)大尺寸高臺(tái)階的樣品，提出