基于激光干涉的數(shù)控機(jī)床定位精度測(cè)量及其數(shù)據(jù)處理算法研究.pdf

1、數(shù)控機(jī)床的定位精度是其最為關(guān)鍵的精度指標(biāo)之一，它直接影響加工精度，也是其他幾何精度的研究基礎(chǔ)。定位精度測(cè)量是開展精度研究與性能改善的先決條件，其測(cè)量水平制約著最終精度研究水平，乃至整體機(jī)床工業(yè)的發(fā)展水平。因此，各國學(xué)者和專家相繼開展定位精度測(cè)量方法與技術(shù)研究。
　　為此，本文開展基于激光干涉的數(shù)控機(jī)床定位精度測(cè)量研究，并針對(duì)現(xiàn)有商用激光干涉儀系統(tǒng)測(cè)量時(shí)需要預(yù)先設(shè)置目標(biāo)值等參數(shù)，以及面對(duì)位置偏差較大的運(yùn)動(dòng)時(shí)不能實(shí)現(xiàn)定位提取而無法正常

2、工作等問題，進(jìn)行了數(shù)據(jù)處理與算法研究。通過對(duì)測(cè)試信號(hào)建模與特征分析，提出了基于位移自鎖定的定位提取方法，研究了其原理與特點(diǎn)。進(jìn)一步提出了基于速度閥值法的定位提取方法。
　　基于位移自鎖定法進(jìn)行了MATLAB環(huán)境下的程序設(shè)計(jì)、GUI人機(jī)界面設(shè)計(jì)以及仿真，調(diào)試及結(jié)果表明了該算法及程序的可行性。為了驗(yàn)證測(cè)量方法及數(shù)據(jù)處理尤其定位提取算法的正確性，基于現(xiàn)有商業(yè)激光干涉儀系統(tǒng)開展了數(shù)控機(jī)床定位精度測(cè)試實(shí)驗(yàn)，實(shí)驗(yàn)采樣獲得相對(duì)連續(xù)的測(cè)試信號(hào)，通