Al基金屬玻璃薄膜材料制備及特性研究.pdf

1、自從金屬玻璃材料被發(fā)現(xiàn)以來，因為其獨特的物理特性、化學特性、機械特性和防腐特性而引起了人們的廣泛關注和極大的興趣。與晶態(tài)合金材料相比，金屬玻璃材料是一種具有短程有序而長程無序結(jié)構特點的非晶態(tài)材料，且各向同性、無晶格缺陷以及無尺寸效應等特點。在Al-Ni-Gd金屬玻璃體系中，80at％以上的成分為Al元素，有很好的經(jīng)濟效益，且具有良好的玻璃形成能力。但是，近年來人們的研究重點都集中在如何制作塊體金屬玻璃材料方面，在金屬玻璃薄膜的制備和性能

2、研究領域存在很大的空白。
　　 本文在前人研究的基礎上，對Al基金屬玻璃薄膜進行了更深入的研究。首先，在已有的各種Al基金屬玻璃體系中，尋找合適的Al-Ni-Gd合金成分體系；利用磁控濺射方法成功制備了沉積態(tài)為非晶態(tài)的Al基金屬玻璃薄膜，并且摸索退火工藝，獲得了晶態(tài)的Al基金屬玻璃薄膜。同時，對Al基金屬玻璃薄膜進行了晶體結(jié)構、表面形貌、熱學特性以及光學和電學等特性的研究。在本文工作中，不同濺射Ar氣壓條件下制備的Al基金屬玻璃