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1、華中科技大學(xué)碩士學(xué)位論文AZO（ZnO∶Al）透明導(dǎo)電薄膜的PECVD制備及其光電特性的研究姓名：劉玉萍申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專業(yè)：脈沖功率與等離子體指導(dǎo)教師：劉明海胡希偉20070609華中科技大學(xué)碩士學(xué)位論文IIAbstractSolarenergyisacleanrenewableenergysource，solarcellsbasedonphotovoltaiceffecthavebroadbrightfuture.transpar
2、entconductivefilmtechnologiespalyanimptantroleintheresearchproductionofhighefficiency，lowcostsolarcell.AZO(ZnO:Al)transparentconductivefilmspossessnotonlygoodphotovoltaicpropertieslikeITO(In2O3:Sn)butalsolowerpricesmenon
3、toxicmestableinhydrogenplasmaenvironmentthanITO.ToobtainAZOfilmwithhightransmittanceinvisiblelightarealowresistivitystableperfmancehighqualitygoodadhesiontothesubstratemanyAZOfilmpreparationtechniqueshavebeendevelopedath
4、omeabroadtocontrolimprovethematerialperfmancesuchasmagronsputteringsolgelpulsedlaserdeposition(PLD)vacuumevapationChemicalvapdeposition(CVD)others.InthisthesisAZOpolycrystallinethinfilmswithstrongadhesiontothesubstratelo
5、wsheetresistivityof89?□highvisiblelighttransmittanceof89%havebeenfabricatedbyPECVD(plasmaenhancedchemicalvapdeposition)methodonglasssiliconsubstrate.Mainresearchesfthisthesisareincludedasfollow：(1)Thestructurephotovoltai
6、cpropertiesfabricatestechnologiesapplicationsofAZOfilmareintroduced.(2)ThereactsethasbeendesignedinstalleddebuggedaccdingtotheprincipleofPECVDthephysicochemicalnatureofsourcematerialaboutZn（CH3COO）22H2OAl(OH)(CH3COO)24H2
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