基于徑向剪切干涉波前檢測(cè)技術(shù)的研究.pdf

1、波前檢測(cè)技術(shù)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域，為科學(xué)技術(shù)的發(fā)展起到了不可替代的作用。與傳統(tǒng)的波前檢測(cè)技術(shù)相比，如泰曼-格林干涉儀，徑向剪切干涉不需要設(shè)置專門的參考光束，因此它能夠檢測(cè)大口徑的波前。此外，徑向剪切干涉對(duì)振動(dòng)、空氣擾動(dòng)等不敏感，因此它適用于現(xiàn)場(chǎng)使用。但是徑向剪切干涉系統(tǒng)的參考波前一般不是一個(gè)理想的平面波，干涉條紋圖并不直接反應(yīng)待測(cè)波前。這就導(dǎo)致條紋解釋和重建波前變的十分困難和復(fù)雜。
　　本文分析討論了幾種典型的徑向剪切系統(tǒng)，在環(huán)

2、路徑向剪切干涉儀的基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)搭建了徑向剪切干涉波前檢測(cè)系統(tǒng)。主要內(nèi)容包括：⑴在對(duì)徑向剪切干涉原理詳細(xì)闡述的基礎(chǔ)上，模擬了徑向剪切干涉條紋；⑵基于相對(duì)靈敏度與徑向剪切干涉條紋圖提出了徑向剪切比的選取原則；⑶根據(jù)干涉條紋特點(diǎn)，論述了基于最小二乘法和zernike多項(xiàng)式的擬合算法，并編寫了波前重建程序，仿真了簡(jiǎn)單和復(fù)雜波前的復(fù)原，并提出了利用相對(duì)精度來表征迭代誤差；⑷引入形態(tài)學(xué)方法來處理干涉條紋圖，解決了因光學(xué)元件缺陷等造成的干涉條紋斷裂的問