薄膜厚度對其納米壓痕行為影響的有限元分析.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、 本文依據(jù)納米壓痕實驗原理，以納米薄膜材料的力學性能為出發(fā)點，以其彈性模量和硬度為主要研究對象，借助有限元軟件，深入研究了納米薄膜材料的力學性能(彈性模量和硬度)與其厚度尺寸之間的關系。 簡單介紹了納米壓痕技術的測試原理，并在此基礎上對該種實驗方法進行了分析和評價。借助這一原理，本文對薄膜的納米壓痕行為進行了有限元模擬。薄膜材料尺寸的特殊性要求必須對其進行無量綱轉化，這一點至關重要。 通過模擬不同

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