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文檔簡介
1、論文研究目的有兩個:一,重點研究有限單元法在微結構中的應力應變分析運用;二,基于有限單元法和ANSYS軟件,分析被檢測斜鍥應變和電容傳感器中E型膜應力,設計薄膜微量應變傳感結構.一般微量應變測量方法,主要是用電阻應變片、半導體敏感材料粘貼被測物體表面或是嵌入被測物體內(nèi)部,這種方式在工業(yè)機器內(nèi)部具體應用時存在缺陷:一,傳感器所處環(huán)境惡劣,影響半導體傳感器精度與穩(wěn)定性;二,當機器零部件尺寸精度高、參數(shù)不能改變、零部件之間間隙微小時,傳感器無
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