微型氣相色譜柱的研制.pdf

1、色譜技術(shù)以其分離效率高，分析速度快，選擇性高，分析樣品用量少等眾多優(yōu)點(diǎn)，目前已成為一種相當(dāng)成熟且應(yīng)用廣泛的分離分析方法。近年來隨著半導(dǎo)體器件制作工藝、芯片加工技術(shù)、精細(xì)微加工手段等一系列新興技術(shù)的不斷成熟化，各種微型氣相色譜儀的研究與開發(fā)已經(jīng)成為當(dāng)前氣相色譜技術(shù)的研究重點(diǎn)，而小型、輕便、快速的微型氣相色譜儀已經(jīng)成為發(fā)展的趨勢。
　　本文從氣相色譜領(lǐng)域出發(fā)，詳細(xì)地介紹了氣相色譜在當(dāng)今的應(yīng)用并全面地總結(jié)了基于微機(jī)電技術(shù)的微型氣相色譜系

2、統(tǒng)的研究現(xiàn)狀和最新進(jìn)展，討論了氣相色譜的兩種主要理論：塔板理論與速率理論，并根據(jù)相關(guān)理論確定出了器件的最終設(shè)計(jì)方案：長度1 m，寬度150μm，深300μm的蛇形開管和半填充色譜柱，同時(shí)摸索并確定了色譜柱的MEMS微細(xì)加工工藝，在物理結(jié)構(gòu)的實(shí)現(xiàn)上嘗試了干法刻蝕與濕法刻蝕兩種主流的刻蝕手法，取得了成功。最后與pyrex7740玻璃進(jìn)行鍵合密封完成了最終的器件制作。
　　目前主流的固定相涂敷方式可分為靜態(tài)涂敷和動態(tài)涂敷，本文采用優(yōu)勢更