激光改性玻璃表面選擇性制備金屬導(dǎo)電層.pdf

1、玻璃作為一種透明材料，具有化學(xué)穩(wěn)定性好、使用壽命長等優(yōu)點；但由于其相對穩(wěn)定的表面結(jié)構(gòu)和性能，使其在某些領(lǐng)域的應(yīng)用受到了限制。因此，需要通過表面改性技術(shù)來改變表面性能以拓寬其應(yīng)用范圍。
　　本文提出了一種利用355nm波長的脈沖紫外激光刻蝕與酸腐蝕相結(jié)合來對玻璃表面進(jìn)行改性的方法，然后通過粗化和活化步驟分開的方式在玻璃表面制備高結(jié)合強度和良好導(dǎo)電性能的金屬銅層，主要研究了激光加工參數(shù)對玻璃表面粗糙度和刻蝕深度的影響。研究表明，粗化過

2、程中線填充間距、激光的能量密度、掃描速度和脈沖頻頻對玻璃表面特定微觀結(jié)構(gòu)的形成至關(guān)重要。通過掃描電鏡、X射線光電子能譜等分析測試技術(shù)研究了玻璃表面激光改性前后的微觀形貌、粗糙度、刻蝕深度、潤濕性、化學(xué)組成的變化規(guī)律。結(jié)果表明，改變線填充間距并不能得到表面形貌規(guī)律性變化的表面；當(dāng)線填充間距接近光斑直徑時，玻璃表面整體被刻蝕粗化，再通過酸腐蝕可以改善表面形貌的均勻性，通過銅沉積實驗得出最佳激光粗化改性參數(shù)和最佳激光活化改性參數(shù)。當(dāng)要求大面積