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文檔簡介
1、該論文對近紫外光致抗蝕劑的主要成膜樹脂—酚醛樹脂進(jìn)行了較系統(tǒng)的研究.通過二步合成方法制備了光致抗蝕劑用酚醛樹脂.首先在較低的溫度下,使對甲酚和甲醛反應(yīng)制備出酚醛樹脂的預(yù)聚體,然后在較高溫度下加入間甲酚反應(yīng)一定時間合成最終的產(chǎn)品.通過改變各種合成條件,制備了一系列的酚醛樹脂,探討了甲醛用量、反應(yīng)時間、催化劑用量、水洗、不同甲酚異構(gòu)體對分子量及分子量分布的影響.增加甲醛和催化劑用量將使分子量增大、分子量分布變寬.延長反應(yīng)時間也將使分子量分布
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