基于肖特基勢壘二極管的600GHz檢波器研究.pdf

1、廣義的太赫茲（THz）一般是波長范圍從3mm到30um的電磁波頻譜，頻率范圍從100GHz到10THz，包括毫米波（30～300GHz）中的較高頻部分，整個亞毫米波段（300GHz至3THz）以及紅外波（從3THz至可見光）中的低端。太赫茲頻段發(fā)現(xiàn)了許多潛在的應用：地球表面和大氣的遙感，寬帶高數(shù)據(jù)速率室內(nèi)（例如智能家庭）和短距離室外無線通信，以及用于安全，醫(yī)療和其他目的的成像。
　　作為太赫茲信號直接探測系統(tǒng)的關鍵部件，檢波器的功

2、能可以認為將一個微波信號的幅值信息轉(zhuǎn)換成一個基帶信號。目前在太赫茲檢波器方面，與國內(nèi)相比，國外的研究相對成熟。所需要的太赫茲檢波器或檢波二極管大都從國外購買，成本較高，本文檢波器設計所需管芯、電路、腔體等均由國內(nèi)研究單位加工完成，因此具有極大的工程使用價值。
　　論文詳細地描述中科院微電子研究所制作的InP基肖特基勢壘二極管，以及其加工工藝。進而利用該二極管的I-V特性曲線提取二極管本征參數(shù)，并根據(jù)二極管各層實際加工尺寸建立三維電

3、磁模型以仿真二極管的寄生參數(shù)。在合理選取電路基片、傳輸線之后，將得到的二極管寄生參數(shù)，以SNP文件格式導入到等效電路仿真軟件（ADS）中并結(jié)合SPICE模型建立起二極管完整參數(shù)模型。然后利用高頻場仿真軟件（HFSS）設計輸入探針過渡等具有單獨功能的子電路，結(jié)合二極管的完整參數(shù)模型利用ADS對整體非線性檢波電路進行諧波平衡仿真，通過ADS與HFSS聯(lián)合仿真優(yōu)化得到檢波器輸入輸出匹配結(jié)構(gòu)，完成檢波器整體電路設計。
　　最后，對600G