亞穩(wěn)中間相碳合金的制備、結構表征及摩擦學性能研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、　　本文以中間相碳微球為母體，利用機械合金化法、高溫高壓合成法等非平衡制備手段，通過添加活性元素Fe、Ni、Mo金屬元素粉末，制備了亞穩(wěn)中間相碳合金，并對碳合金的制備、結構和摩擦性能諸多方面進行了研究。另外，采用磁控濺射方法在單晶硅基片(111)晶面上制備了非晶結構的碳質(zhì)薄膜?！　≡谥苽渲虚g相碳合金的過程中，研究了機械合金化時間、活性元素類型以及高溫高壓處理對其結構的影響；在濺射沉積碳薄膜的過程中，研究了濺射壓力和基片溫度對薄膜性能的

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