衍射光柵色散理論與光柵設(shè)計(jì)、制作和檢驗(yàn)方法研究.pdf

1、本文對衍射光柵色散理論與光柵設(shè)計(jì)、制作工藝和效率檢驗(yàn)方法做了較為深入的研究.第一,在光柵理論研究方面,基于矢量衍射理論給出了一維和二維平面光柵的廣義光柵方程以及角色散公式的完整解析形式,建立了衍射光柵第一類和第二類角色散概念,系統(tǒng)地討論了衍射光柵兩類角色散的相關(guān)特性,完善和發(fā)展了衍射光柵色散理論.第二,在光柵理論的應(yīng)用研究方面,從矢量衍射理論基礎(chǔ)出發(fā),給出了表示平面光柵光譜儀譜線和譜帶彎曲程度的精確關(guān)系式和光譜儀器的兩類色散公式,數(shù)值結(jié)

2、果表明以往所用近似公式存在不足.第三,在光柵設(shè)計(jì)與制作方面,導(dǎo)出了矩形光柵衍射效率的一般表達(dá)式,分析了矩形光柵衍射光譜的缺級現(xiàn)象,通過數(shù)值分析發(fā)現(xiàn)光學(xué)頭光柵縱向與橫向加工誤差之間存在互補(bǔ)性,并根據(jù)設(shè)計(jì)結(jié)果成功地研制出了VCD信號讀寫頭光柵.第四,在金屬光柵刻劃工藝研究方面,建立了實(shí)際刻劃光柵的物理模型,著重探討了刻劃激光光柵和計(jì)量光柵的技術(shù)要領(lǐng),并應(yīng)用先進(jìn)的檢測手段再現(xiàn)了光柵槽形,為提高光柵的刻劃精度提供了參考依據(jù).第五,對全息曝光系統(tǒng)