一種用于逆變模塊的IGBT設(shè)計(jì).pdf

1、電動(dòng)汽車的普及促進(jìn)了對(duì)充電樁的大力研究，作為充電樁逆變模塊的核心器件IGBT變的越來(lái)越重要，對(duì)IGBT的性能參數(shù)要求也越來(lái)越高。應(yīng)用于逆變模塊的IGBT，具有高耐壓、大電流、低功耗、快開(kāi)關(guān)速度等特點(diǎn)，相應(yīng)的工藝要求和設(shè)計(jì)難度很高。本文旨在設(shè)計(jì)出一款適用于逆變模塊且規(guī)格為1200V/100A的Trench-FS IGBT器件，為今后的研制提供一定的指導(dǎo)作用。
　　本研究主要內(nèi)容包括：⑴結(jié)合當(dāng)前國(guó)內(nèi)的條件，制定出 Trench-FS

2、IGBT的工藝流程。首先對(duì)傳統(tǒng)Trench-FS IGBT進(jìn)行了仿真，包括對(duì)外延層參數(shù)、Pbody區(qū)參數(shù)、背部 P+和 FS層參數(shù)、Trench柵參數(shù)的優(yōu)化，得到了傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)的耐壓BV、閾值電壓Vth、導(dǎo)通壓降VCE、電容、關(guān)斷下降時(shí)間 Tf和關(guān)斷能量損耗 Eoff等電參數(shù)，分析了傳統(tǒng)Trench-FS IGBT存在輸入電容Ciss過(guò)大的缺點(diǎn)。⑵在傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)仿真基礎(chǔ)上提出了四種Dummy結(jié)構(gòu)的Trench-FS IGBT，來(lái)試圖優(yōu)化Ciss