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文檔簡介
1、該論文的目的是研究基片對薄膜結(jié)構(gòu)和性能的影響關(guān)系,采用倒筒靶直流濺射技術(shù)在在LaAlO<,3>(100)和R-平面的藍寶石(Al<,2>O<,3>(1102))兩種基片上制各出c軸取向的外延高溫超導(dǎo)YBa<,2>Cu<,3>O<,7-δ>薄膜.該文結(jié)合AFM、SEM研究YBCO薄膜的表面形貌,XRD、FWHM分析薄膜的結(jié)晶情況,并結(jié)合成膜溫度和基片的質(zhì)量進行一系列結(jié)構(gòu)與性能的對比研究,發(fā)現(xiàn)LaAlO<,3>(LAO)基片的質(zhì)量對YBCO
2、薄膜的結(jié)構(gòu)完整性有很大影響,不僅影響了薄膜的c軸取向性,而且影響了YBCO的超導(dǎo)性能.在LaAlO<,3>(100)基片上制備出了c軸取向的YBa<,2>Cu<,3>O<,7-δ>薄膜:Tc<,0>=90K,△Tc=0.3K,Rs(77K,10GHz)=1.7mΩ.通過在R-Al<,2>O<,3>基片上生長一層CeO<,2>緩沖層,改善了Al<,2>O<,3>與YBCO晶格的嚴重失配,制備出了Tc<,0>=90K,△Tc=0.5K,Rs
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