玻璃覆晶設(shè)備(COG)及其對位標(biāo)定方法的研究.pdf

1、隨著國民經(jīng)濟(jì)的高速發(fā)展，平板顯示（FPD）行業(yè)發(fā)展迅速，柔性、低功耗、輕薄化、高分辨率成為發(fā)展方向，虛擬現(xiàn)實(shí)（VR）和增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)（AR）、透明顯示和氧化物半導(dǎo)體等技術(shù)的發(fā)展為傳統(tǒng)平板顯示技術(shù)提出了更多高難度的挑戰(zhàn)，也產(chǎn)生了更大的市場需求。目前在FPD行業(yè)的模組工藝中，COG倒裝設(shè)備以高密度、高可靠性的特點(diǎn)獲得了廣泛應(yīng)用。其按照工藝過程分為 ACF貼敷、預(yù)壓和本壓三個(gè)工藝段。COG倒裝設(shè)備主要應(yīng)用在高檔的電子、通信類產(chǎn)品上，因此對電子器件的

2、可靠性要求較高。如何提高設(shè)備的對位精度和生產(chǎn)節(jié)拍一直是各大平板企業(yè)和設(shè)備廠商所關(guān)心的主要問題之一。
　　本文從COG工藝入手，詳細(xì)分析和討論了倒裝設(shè)備的生產(chǎn)需求，依照生產(chǎn)需求完成了設(shè)備的整體機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)和控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)，最后就整機(jī)設(shè)計(jì)過程中最難的機(jī)器視覺對位系統(tǒng)的硬件選型、方案設(shè)計(jì)和工作原理首次進(jìn)行了細(xì)致的解析和討論。按照視覺系統(tǒng)的運(yùn)行時(shí)序，將整個(gè)系統(tǒng)生命周期分為光學(xué)調(diào)整過程、運(yùn)動(dòng)學(xué)標(biāo)定過程和視覺對位過程，并對運(yùn)動(dòng)學(xué)標(biāo)定過程進(jìn)行了仔細(xì)的

3、分析，提出了一種新的基于Ransac算法的運(yùn)動(dòng)學(xué)標(biāo)定方法。該方法構(gòu)建基于樣本數(shù)據(jù)分布密度的模型，并通過該模型進(jìn)行一定次數(shù)的迭代篩選，最后使用得到的最優(yōu)解集合進(jìn)行精確推導(dǎo)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，在使用隨機(jī)選取的10組樣本數(shù)據(jù)的計(jì)算中，本方法平均計(jì)算時(shí)間為697.6秒，標(biāo)定精度在7.2個(gè)像素以內(nèi)，并且有7組數(shù)據(jù)的結(jié)果均滿足10個(gè)像素尺寸的精度要求。
　　最后，依據(jù)本文所述方案制造的樣機(jī)設(shè)備進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證工作。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，相比于國外進(jìn)口同類型