超聲噴霧熱分解大面積SnO-,2-：F透明導電膜的研究.pdf

1、SnO2薄膜是一種集諸多優(yōu)良性能于一體的功能材料，它具有廣泛的用途；超聲噴霧熱分解工藝是一種在傳統(tǒng)熱分解工藝基礎上發(fā)展起來的新型鍍膜方法，具有低成本、高質量的優(yōu)點。本文對基于超聲噴霧熱分解工藝的大面積SnO2薄膜的制備技術進行了研究。 本論文主要完成了以下三方面的工作： 第一、設計并實現(xiàn)了基于超聲噴霧熱分解工藝的大面積鍍膜設備。目前在國內對超聲噴霧熱分解工藝的研究大多局限在小面積的實驗上，而本論文最終實現(xiàn)了20cm×20

2、cm面積的均勻鍍膜，因此具有一定的開創(chuàng)性。 第二、對超聲噴霧熱分解工藝制備SnO2：F薄膜做了工藝探索。分別研究了溫度、摻雜比、酒精含量、載氣流量和噴射距離等工藝參數(shù)對薄膜性能的影響；將實驗制得的薄膜用于制備非晶硅薄膜電池，其效率達到了5.96％，而相同條件下采用日本進口的薄膜制備的電池效率為6.88％。 第三、和一般文獻的研究方法不同，本論文對薄膜工藝過程進行研究時利用了計算機仿真技術。通過使用FLUENT軟件對噴霧的