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文檔簡介
1、華中科技大學碩士學位論文水熱法制備納米SnO及厚膜氣敏元件初探姓名:許聰申請學位級別:碩士專業(yè):微電子學與固體電子學指導教師:龔樹萍20060429華中科技大學碩士學位論文AbstractThispaperincludesthreepartsThefabricationofSn02nanoparticlesthroughthehydrothermalmethodisintroducedinthefirstpartBymanytestin
2、gmethodswhichincludetheinvestigationandtheanalysisofXRD、SEMandTEM,wefindthebestconditionsMeanwhile,theparticlesizeoftheSn02nanoparticlesmadeonbestconditionsaremeasuredandgivenafurtheranalysisTheexperimentresultsshowthatt
3、heaveragecrystallinesizeofSn02particlesobtainedathydrothermaltemperature(200℃)for10his37nmwhenthepHvalueis7andthenanoparticlesarespherical,uniform,andwelldispersedFurthermore,westudytherelationbetweentheparticlesizeandth
4、eheattreatmenttemperatureTheaveragegrainsizesofSn02particlesheattreatedat400℃、500C、600(2、800(2separatelyfor2h,are41nm、52nm、71nm、101nm,whichshowsthattheparticlesizeslightlyincreaseswith:theheattreatmenttemperatureTheinves
5、tigationoffabricatingCuOSnOznanoparticlesbythehydrothermalmethodisintroducedinthesecondpartThroughalotofexperimentscombinedwiththeinvestigationandanalysisofXRD,wegetthebesttechnologyprocessInthisprocess,weusetheiondoping
6、techniquethroughthesolutioninsteadofthesolidphasedopingtechniqueThehydrothermalprocessremainsthesame,keepingat200“Cfor10hwhenthepHvalueis7TheobtainedsolutionisdriedbythewaterbathtoensurethedopingcontentThenthepowderishea
7、ttreatedat550℃for2htemovethecrystallizationwaterThegrainsizeoftheobtainedCuOSn02nanoparticlesis55rimThefabricationprocessandprimarydiscussionofthethick—filmH2Sgassensorisdescribedinthen血dpartthecharacteristicsofthesensor
8、arealsostudiedDuringthefabricationprocess,manyfactorsaffectthecharacteristicsofthegassensorwhichinvoNetheproportionofCuOpowderthecompositionandproportionofglassglaze,thesinteringtemperature,andthetimeofheatpreservationTh
9、eexperimentresultsshowthattheslurrygetsthebestadhesivestrengthwhentheproportionofthet11ickfilmresistancematerialstotheglassglazeis8:1Thefilmissinteredat800“Cfor2hThegassensingelementhasthebestperformancewhendoping5wt%CuO
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