微晶玻璃磨削表面的殘余應(yīng)力研究.pdf

1、微晶玻璃又稱玻璃陶瓷，具有良好的機(jī)械性能和化學(xué)穩(wěn)定性，在諸多光學(xué)系統(tǒng)中應(yīng)用廣泛。作為脆性材料，常采用磨削工藝以去除多余材料成型，在此過(guò)程中必然在元件表面產(chǎn)生缺陷，使元件產(chǎn)生不該有的殘余應(yīng)力，此殘余應(yīng)力將直接影響元件的強(qiáng)度和尺寸穩(wěn)定性（包括光學(xué)元件的表面面形質(zhì)量），從而影響系統(tǒng)的性能和壽命使用安全性，因此，研究微晶玻璃磨削過(guò)程中所產(chǎn)生的殘余應(yīng)力是很有必要的。
　　本文針對(duì)工藝參數(shù)對(duì)工件磨削殘余應(yīng)力的影響，采用理論研究、有限元模擬和實(shí)

2、驗(yàn)分析相結(jié)合，具體研究?jī)?nèi)容如下：
　　1、基于壓痕斷裂力學(xué)理論，分析了磨削過(guò)程中材料去除機(jī)理；并從壓痕模型中提出殘余應(yīng)力的分布猜想。最后通過(guò)理論分析出熱沖擊對(duì)殘余應(yīng)力的產(chǎn)生基本沒(méi)有影響。
　　2、根據(jù)磨削力的理論計(jì)算公式，得到工藝參數(shù)與磨削力之間的關(guān)系。進(jìn)行磨削過(guò)程有限元模擬，計(jì)算出不同磨削載荷條件下所產(chǎn)生的殘余應(yīng)力，最后分析出各工藝參數(shù)對(duì)殘余應(yīng)力的影響。
　　3、以ZERODUR(R)微晶玻璃為研究對(duì)象，采用電鍍金剛