有毒有害氣體傳感器陣列檢測(cè)及數(shù)據(jù)融合研究.pdf

1、有毒有害氣體的成分與含量檢測(cè)在化工、航空航天、毒氣報(bào)警、環(huán)境保護(hù)等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。常用的半導(dǎo)體氣敏傳感器具有響應(yīng)速度快、靈敏度高等優(yōu)點(diǎn)，但卻由于交叉敏感的特性而無(wú)法應(yīng)用于多種氣體檢測(cè)。然而在實(shí)際的應(yīng)用環(huán)境下，絕大多數(shù)被測(cè)氣體的成份都是較為復(fù)雜的。因此，研究一種利用現(xiàn)有的半導(dǎo)體傳感器技術(shù)而實(shí)現(xiàn)混合氣體檢測(cè)的測(cè)試技術(shù)就變的十分必要。
　　本文設(shè)計(jì)了一種基于 AlN的半導(dǎo)體 MEMS微結(jié)構(gòu)四陣列傳感器，并根據(jù)其輸出特性設(shè)計(jì)了后端檢測(cè)

2、系統(tǒng)。檢測(cè)系統(tǒng)由陣列傳感器來(lái)獲取對(duì)被測(cè)混合氣體的感知，并將其高維響應(yīng)采集處理后傳輸至上位機(jī)，而后通過(guò)多傳感器數(shù)據(jù)融合技術(shù)對(duì)高維響應(yīng)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析、識(shí)別，從而計(jì)算出混合氣體的成分與含量。
　　系統(tǒng)硬件以 STM32F107微控制器為核心，包括傳感器加熱電路、信號(hào)變送電路、量程切換電路、電源電路、采集電路和通信電路，并利用KeilMDK4.0完成了硬件電路底層驅(qū)動(dòng)程序的編寫。軟件部分應(yīng)用LabVIEW與 MATLAB混合編程技術(shù)，其中