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文檔簡(jiǎn)介
1、本論文從氣體傳感器研究的三個(gè)主要方面——?dú)饷舨牧?、器件結(jié)構(gòu)、敏感特性及機(jī)制出發(fā),設(shè)計(jì)了化學(xué)場(chǎng)效應(yīng)管陣列NO<,2>氣體傳感器;利用自組裝技術(shù)制備了NO<,2>氣敏薄膜,并進(jìn)行了微觀結(jié)構(gòu)表征和分析,同時(shí)在薄膜氣敏特性研究的基礎(chǔ)上對(duì)陣列器件的NO<,2>氣敏特性和敏感機(jī)理進(jìn)行了研究.1.利用微電子半導(dǎo)體工藝與自組裝技術(shù)相結(jié)合,首次在氣敏薄膜制備和研究的基礎(chǔ)上根據(jù)氣敏傳感器的主要特性參數(shù)以及MOS管的基本特性參數(shù)設(shè)計(jì)并制造了利用聚苯乙烯磺酸摻
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