可燃性氣體傳感器的制備及氣敏特性研究.pdf

1、本文介紹了半導(dǎo)體氣敏元件在國內(nèi)外的發(fā)展?fàn)顩r，綜述了金屬氧化物半導(dǎo)體氣敏元件的摻雜技術(shù)。列舉了半導(dǎo)體氣敏元件的摻雜以及摻雜對氣敏元件靈敏度和選擇性的影響作用。SnO2基薄膜是目前研究最廣泛的一種氣敏材料，通過不同物質(zhì)的摻雜，優(yōu)化氣敏特性，使其滿足實(shí)際的應(yīng)用是一個(gè)發(fā)展的重點(diǎn)。 本文利用直流磁控反應(yīng)濺射法分別制備了摻雜TiO2的SnO2薄膜及摻雜Pt的SnO2薄膜，并研究了不同工藝參數(shù)（例如濺射電壓，濺射電流，濺射時(shí)間，退火溫度等）對

2、薄膜質(zhì)量以及氣敏特性的影響。通過XRD等手段研究了各薄膜的結(jié)構(gòu)與性質(zhì)，并探討了薄膜結(jié)構(gòu)和性質(zhì)對其氣敏特性的影響，分析了摻雜Pt的SnO2薄膜對NH3氣體的敏感機(jī)理。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，摻雜TiO2的SnO2薄膜對丙酮有表現(xiàn)出很好的靈敏性，在較高的工作溫度下選擇性也很好。摻雜Pt的SnO2薄膜對氨氣有很好的響應(yīng)，在700℃的溫度下退火的樣品對氨氣的靈敏度最高，選擇性好，反應(yīng)時(shí)間的恢復(fù)時(shí)間也都比較理想。 本文介紹了幾種常見的氣敏元件結(jié)構(gòu)，