氧化鋅納米結(jié)構(gòu)聲表面波傳感器的制備及氣敏性能的研究.pdf

1、納米結(jié)構(gòu)的敏感吸附膜是聲表面波傳感器的研究中的熱點(diǎn)。氧化鋅具有良好壓電特性、紫外吸收以及熒光特性，在氣敏檢測(cè)與UV測(cè)試中都具有良好的應(yīng)用；氧化鋅納米結(jié)構(gòu)在當(dāng)前眾多氧化物納米結(jié)構(gòu)中，是極具研究?jī)r(jià)值的。本論文制備并研究純ZnO納米結(jié)構(gòu)，主要依靠AFM、SEM、XRD以及光透過率對(duì)ZnO納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行表征；并制備ZnO納米結(jié)構(gòu)聲表面波傳感器用于檢測(cè)氣敏特性與UV特性。實(shí)驗(yàn)的主要工作包括：
　　1.制備ZnO納米薄膜，對(duì)ZnO納米薄膜進(jìn)行A

2、FM、XRD、SEM以及光透過率表征；制備了該材料的聲表面波傳感器，利用傳感器進(jìn)行氣敏檢測(cè)和 UV特性檢測(cè)，在實(shí)驗(yàn)中該傳感器檢測(cè)到濃度為10 ppm的氨氣以及探測(cè)到輻照僅為6μw/cm2的波長(zhǎng)為365 nm的紫外線。研究在溶膠凝膠法制備ZnO納米薄膜時(shí)，溶膠的溶劑、乙酸鋅濃度以及燒結(jié)時(shí)間對(duì)納米薄膜的影響。發(fā)現(xiàn)了響應(yīng)變化為正值的ZnO納米薄膜聲表面波傳感器。
　　2.利用聚酰亞胺膠帶通過遮蓋的方法，保護(hù)ST切石英聲表面波器件的叉指換

3、能器、反射柵以及敏感區(qū)域的一部分，制備僅覆蓋敏感區(qū)域一部分的ZnO納米棒陣列，對(duì)該陣列進(jìn)行SEM、XRD以及透過率表征；制備該結(jié)構(gòu)相應(yīng)的聲表面波傳感器，進(jìn)行UV紫外特性檢測(cè)和氣敏檢測(cè)。制備無種子層的ZnO納米棒陣列，對(duì)該結(jié)構(gòu)進(jìn)行SEM、XRD、透過率表征；制備該結(jié)構(gòu)的聲表面波傳感器，進(jìn)行氣敏檢測(cè)。兩種傳感器在氣敏測(cè)試中都取得了十分理想的結(jié)果，對(duì)濃度為10 ppm的氨氣相應(yīng)都超過100 Hz，部分覆蓋生長(zhǎng)的納米棒陣列傳感器在紫外檢測(cè)中探測(cè)