基于氣體潤滑靜壓工作臺(tái)的若干關(guān)鍵技術(shù)

1、天津大學(xué)碩士學(xué)位論文基于氣體潤滑靜壓工作臺(tái)的若干關(guān)鍵技術(shù)姓名：王占彬申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專業(yè)：機(jī)械制造及其自動(dòng)化指導(dǎo)教師：林彬20090501A B S T R A C TU l t r a - p r e c i s i o n m i c r o —d i s p l a c e m e n t s t a g e s y s t e mp l a y s a n i m p o r t a n t r o l e i nm o d

2、e m i n d u s t r ya n d s c i e n t i f i cr e s e a r c hf i e l d ．T h e1 1 i g hp r e c i s i o n a n d h i g hr e s o l u t i o na r et h ei m p o r t a n t s y m b o l so f t h ed e v e l o p m e n t o f h i g h —t

3、 e c hl e v e l i ne a c hC O L I n t r y ．1 1 1 ef u r t h e r r e s e a r c h i n k e yt e c h n o l o g y o fa d v a n c e d s t r u c t u r a l m a t e r i a l s ，p o r o u s g a sl u b r i c a t i o na n d d i r e c

4、 t - d r i v eh a s b e e nm a d eb y t h ep r e v i o u sr e s e a r c ht e a m ，w h i c hh a sl a i d a s o l i df o u n d a t i o nf o rd e v e l o p i n ga u l t r a - p r e c i s i o n s t a g ew i t hs u c hf e a t

5、 u r e s ，a sl a r g et r a v e l ．b a l a n c e dp e r f o r m a n c ea n d s u i t a b l ef o ri n d u s t r i a la p p l i c a t i o n ．T h eg o a lo ft h e r e s e a r c h i s r e a l i z i n g t h e p r a c t i c a

6、l a p p l i c a t i o n o f t h e k e yt e c h n o l o g y o ft h ea e r o s t a t i cs t a g e ．B y c a r r y i n go u ts u m m a r i z i n g t h e s t r u c t u r eo f t h ea e r o s t a t i cs t a g e ，t h en u m e r

7、i c a la n a l y s i so nt h e a i rl u b r i c a t i o n , t h ep r e c i s i o nd e s i g no n t h eg u i d e - w a y , t h er e s e a r c ha i m a tm a s t e r i n g t h ek e y t e c h n o l o g yo f t h ea e r o s t

8、a t i cs t a g er e s e a r c ha n d t h em a n u f a c t u r i n g c a p a c i t y ．1 1 l ep a p e rh a s d o n ea l o to f c e r t i f i c a t i o n ．A n dt h i s i se s s e n t i a lf o rt h ep r a c t i c a la p p l

9、i c a t i o n o f t h e a e r o s t a t i cs t a g e a n d m a s t e r i n gt h e k e y t e c h n o l o g y o f t h e p r o d u c t i o n ．I nt h i sp a p e r , i tf o c u so n t h er e s e a r c ha n d d e m o n s t r a

10、 t i o n o f t h es t r u c t u r ed e s i g n f o r t h es t a g eb yc o m p a r i n gw i t h p r e - w o r k o ft h e l a b ，t h e n u m e r i c a la n a l y s i s o ft h ea i rl u b r i c a t i o n ，t h ep r e c i s i

11、 o n a n a l y s i so f t h e a e r o s t a t i c g u i d e - w a y ．I nt h i sp a p e r , t h ei n i t i a lg l o b a ls t r u c t u r ed e s i g nf o rt h ea e r o s t a t i cs t a g eh a s b e e nf i n i s h e d ．T h

12、e t w o d i m e n s i o n a lf o r m a n d h o r i z o n t a l l a y o u t i s a d o p t e d ．T h e t o pg u i d e —w a yi s a r r a n g e do n e l i n e a rm o t o r a n d t h el o w e ri sa r r a n g e dd u a lo n e so

13、 nt h er i g h ta n dl e f ts i d e s ．1 1 1 em a t e r i a lo f t h es t a t i c g u i d e - w a yi s g r a n i t em a r b l ea n d t h em o v i n gg u i d e —w a y i s a l u m i n u ma l l o y ．T h e a i rl u b r i c a

14、 t i o n t e c h n o l o g y i s a d o p t i n gv a c u u ma d s o r p t i o n f o ro b t a i n i n gh i g hs t i f f n e s s ．O t h e r w i s e ，t h ep a p e r r e f e r st o s o m ep r o b l e m s o f t h e p r a c t i

15、 c a la p p l i c a t i o n f o r t h es t a g e ．T h ep r o g r a m o ft h e a i rb e a r i n g a d o p t s f i n i t e d i f f e r e n c e m e t h o d ．T h et o m sr e s t r i c t o r i s s e l e c t e d ．A n d t h e p

16、 e r f o r m a n c e o fa i r l u b r i c a t e db e a r i n gt o r u s —b a s e dR e s t f i c t o r i sa n a l y z e d i na c c o r d a n c e w i t h t h er e s u l t s o f t h e n u m e r i c a la n a l y s i s ，s u c

17、 h a sc a r r y i n g c a p a c i t y , s t i f f n e s sa n d f l o w ．A n da l s oa c c o r d i n g t ot h e r e s u l t ，t h ep r o p o s a l o ft h es t r u c t u r eo p t i m i z a t i o nh a s b e e n m a d e ．I nt

18、 h i sp a p e r , t h ep r e c i s i o n o f t h ea e r o s t a t i cg u i d e - w a yi sa n a l y z e d ．B a s e d o nt h es i m p l i f i e dm o d a l ，t h ef a c t o r so fl e a d i n gt ot h ee r r o ro f t h em o v