基于氣體潤滑靜壓工作臺的若干關(guān)鍵技術(shù).pdf

1、超精密微位移工作臺系統(tǒng)在現(xiàn)代尖端工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域內(nèi)占有極為重要的地位。高精度和高分辨率的精密微位移工作臺系統(tǒng)的各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)是各國高技術(shù)發(fā)展水平的重要標(biāo)志。本實(shí)驗(yàn)室已經(jīng)針對工作臺在先進(jìn)結(jié)構(gòu)材料、多孔質(zhì)氣體潤滑技術(shù)以及直接驅(qū)動技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)方面進(jìn)行了較為深入的研究，為研制出性能均衡，適合工業(yè)環(huán)境應(yīng)用的大行程超精密工作臺打下堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。本次課題的研究目的是實(shí)現(xiàn)空氣靜壓工作臺關(guān)鍵技術(shù)的實(shí)用化。通過對工作臺結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方面的調(diào)研和論證，對氣體靜

2、壓支承的數(shù)值計(jì)算分析、對導(dǎo)軌的精度設(shè)計(jì)進(jìn)行的討論，旨在為掌握空氣靜壓工作臺的關(guān)鍵技術(shù)，具備研制工作臺的能力做些前期的準(zhǔn)備工作。
　　 本文的研究重點(diǎn)放在空氣靜壓工作臺的實(shí)用化設(shè)計(jì)方面，并為掌握其加工生產(chǎn)的關(guān)鍵技術(shù)做了許多認(rèn)證，為今后早日實(shí)現(xiàn)工作臺批量生產(chǎn)做了大量實(shí)質(zhì)性的工作。本文結(jié)合實(shí)驗(yàn)室前面的工作及課題的實(shí)際情況，主要進(jìn)行空氣靜壓工作臺結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方面的調(diào)研和論證，空氣靜壓氣浮支承的理論計(jì)算，以及導(dǎo)軌精度分析。
　　 文中

3、初步完成了工作臺整體結(jié)構(gòu)布局方面的設(shè)計(jì)：工作臺整體采用二維形式，水平布置；工作臺上層采用一個直線電機(jī)驅(qū)動，下層采用兩側(cè)雙直線電機(jī)驅(qū)動；工作臺靜導(dǎo)軌采用花崗巖大理石材料，動導(dǎo)軌采用鋁合金材料；工作臺的氣體支撐技術(shù)采用真空負(fù)壓吸附式設(shè)計(jì)，可以獲得高剛度。另外還針對工作臺的實(shí)用化總結(jié)了若干需要注意的問題。
　　 文中采用有限差分法編制了基于氣體潤滑的氣浮支承技術(shù)數(shù)值計(jì)算程序；在氣體潤滑形式的基礎(chǔ)上選用了環(huán)面節(jié)流器；根據(jù)數(shù)值程序計(jì)算出承