潔凈室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)

1、空 氣 潔 凈 技 術(shù),（建筑環(huán)境與設(shè)備工程 16學(xué)時(shí)）趙加寧,第2章 空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn)與控制對(duì)象,2.1 潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)說(shuō)明：工程中所依據(jù)的各項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范，重要內(nèi)容應(yīng)記錄在腦子里。空氣潔凈度：潔凈空氣中含塵量多少的程度（即含塵濃度）。含塵濃度高則潔凈度低，含塵濃度低則潔凈度高。1、美國(guó)空軍技術(shù)條令 世界上第一個(gè)潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。1961年3月問(wèn)世。美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)的基石。2、美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209

2、 1963年12月問(wèn)世。 0.5µm 5.0µm,2.1 潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn),3、現(xiàn)在標(biāo)準(zhǔn)美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209E,表2-1 美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)（USA Federal Standard）209E（1992年）,2.1 潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn),3、現(xiàn)在標(biāo)準(zhǔn)中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB50073-2001（等同采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644-1）特點(diǎn)：與舊規(guī)范相比，控制粒徑2種增加到6種；4個(gè)級(jí)別增加

3、到9個(gè)級(jí)別。另，允許采用整數(shù)間的中間級(jí)別。,表2-2  潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級(jí),2.1 潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn),各種要求粒徑D的粒子最大允許濃度Cn由公式（2-1）確定。 （2-1）式中：Cn——大于或等于要求粒徑的粒子最大允許濃度（pc/m3）； Cn是以四舍五入至相近的整數(shù)，有效位數(shù)不超過(guò)三位。 N ——潔凈度等

4、級(jí)，數(shù)字不超出9，潔凈度等級(jí)整數(shù)之間的中間 數(shù)可以按0.1為最小允許遞增量。 D——要求的粒徑（µm），其值為[0.1~5.0]。 0.1——常數(shù)，其量綱為µm。,2.1 潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn),3、現(xiàn)在標(biāo)準(zhǔn)醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn)GMP-97。,■ 中國(guó)藥品生產(chǎn)潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn),表2-3 中國(guó)藥品生產(chǎn)潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn),注1：大于

5、100000級(jí)的參數(shù)是參考美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)潔凈室和潔凈區(qū)內(nèi)空氣浮游粒子潔凈等級(jí)；注2：空氣潔凈度的測(cè)試以靜態(tài)條件為依據(jù)，測(cè)試方法應(yīng)符合國(guó)家醫(yī)藥管理工業(yè)潔凈室和潔凈區(qū)懸浮粒子的測(cè)試方法》中有關(guān)規(guī)定；注3：對(duì)于空氣潔凈度為100級(jí)的潔凈室，室內(nèi)大于等于5μm塵粒的計(jì)數(shù)，應(yīng)進(jìn)行多次采樣，當(dāng)其多次出現(xiàn)時(shí)，方可認(rèn)為該測(cè)試數(shù)值是可靠的。,2.1 潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn),3、現(xiàn)在標(biāo)準(zhǔn)基于≥0.5um粒徑的各國(guó)潔凈度等級(jí)近似對(duì)照表,基于≥0.5um粒徑的各

6、國(guó)潔凈度等級(jí)近似對(duì)照表,2. 2 潔凈度的控制對(duì)象,控制對(duì)象：最小微粒直徑，微粒數(shù)量。一、控制的最小粒徑（1）生產(chǎn)的機(jī)械角度考慮；（2）白熾燈作光源的散射光式粒子計(jì)數(shù)器測(cè)試；（3）大規(guī)模集成電路生產(chǎn)要求控制0.1µm 。二、控制的微粒數(shù)量原則：（1）現(xiàn)有措施能達(dá)到； （2）經(jīng)濟(jì)上能明顯區(qū)別； （3）記憶方便。,2. 2 潔凈度的控制對(duì)象,三、被控制的含塵濃度的具體