液晶面板制作工藝

1、一工藝流程簡述：前段工位：ITO玻璃的投入（grading）——玻璃清洗與干燥（CLEANING）——涂光刻膠（PRCOAT）——前烘烤（PREBREAK）——曝光（DEVELOP）顯影（MAINCURE）——蝕刻（ETCHING）——去膜（STRIPCLEAN）——圖檢（INSP）——清洗干燥（CLEAN）——TOP涂布（TOPCOAT）——UV烘烤（UVCURE）——固化（MAINCURE）——清洗（CLEAN）——涂取向劑（PIP

2、RINT）——固化（MAINCURE）——清洗（CLEAN）——絲網(wǎng)印刷（SEALSHTPRINTING）——烘烤（CUPINGFURNACE）——噴襯墊料（SPACERSPRAY）——對位壓合（ASSEMBLY）——固化（SEALMAINCURING）1ITO圖形的蝕刻：（ITO玻璃的投入到圖檢完成）AITO玻璃的投入：根據(jù)產(chǎn)品的要求，選擇合適的ITO玻璃裝入傳遞籃具中，要求ITO玻璃的規(guī)格型號符合產(chǎn)品要求，切記ITO層面一定要向上插

3、入籃具中。B玻璃的清洗與干燥：將用清洗劑以及去離子水（DI水）等洗凈ITO玻璃，并用物理或者化學的方法將ITO表面的雜質和油污洗凈，然后把水除去并干燥，保證下道工藝的加工質量。C涂光刻膠：在ITO玻璃的導電層面上均勻涂上一層光刻膠，涂過光刻膠的玻璃要在一定的溫度下作預處理：（如下圖）D前烘：在一定的溫度下將涂有光刻膠的玻璃烘烤一段時間，以使光刻膠中的溶劑揮發(fā)，增加與玻璃表面的粘附性。E曝光：用紫外光（UV）通過預先制作好的電極圖形掩模版

4、照射光刻膠表面，使被照光刻膠層發(fā)生反應，在涂有光刻膠的玻璃上覆蓋光刻掩模版在紫外燈下對光刻膠進行選擇性曝光：（如圖所示）F顯影：用顯影液處理玻璃表面，將經(jīng)過光照分解的光刻膠層除去，保留未曝光部分的光刻膠層，用化學方法使受UV光照射部分的光刻膠溶于顯影液中，顯影后的玻璃要經(jīng)過一定的溫度的堅膜處理G堅膜：將玻璃再經(jīng)過一次高溫處理，使光刻膠更加堅固。H刻蝕：用適當?shù)乃峥桃簩o光刻膠覆蓋的ITO膜蝕掉，這樣就得到了所需要的ITO電極圖形，注：I

5、TO玻璃為（In2O3與SnO2）的導電玻璃，此易與酸發(fā)生反應，而用于蝕刻掉多余的ITO，從而得到相應的拉線電極。I去膜：用高濃度的堿液（NaOH溶液）作脫膜液，將玻璃上余下的光刻膠剝離掉，從而使ITO玻璃上形成與光刻掩模版完全一致的ITO圖形。（即按客戶要求進行顯示的部分拉線蝕刻完成，如圖）J清洗干燥：用高純水沖洗余下的堿液和殘留的光刻膠以及其它的雜質。2特殊制程：（TOP膜的涂布到固化后清洗）一般的TN與STN產(chǎn)品不要求此步驟，TO

6、P膜的涂布工藝是在光刻工藝之后再做一次SiO2的涂布，以此把刻蝕區(qū)與非刻蝕區(qū)之間的溝槽填平并把電極覆蓋住，這既可以起到絕緣層的作用，又能有效地消除非顯示狀態(tài)下的電極底影，還有助于改善視角特性等等，因此大部分的高檔次產(chǎn)品要求有TOP涂布。3取向涂布（涂取向劑到清洗完成）此步工藝為在蝕刻完成的ITO玻璃表面涂覆取向層，并用特定的方法對限向層進行處理，以使液晶分子能夠在取向層表面沿特定的方向取向（排列），此步驟是液晶顯示器生產(chǎn)的特有技術。A涂

7、取向劑：將有機高分子取向材料涂布在玻璃的表面，即采用選擇涂覆的方法，在ITO玻璃上2)要使玻璃基板鍍上金屬薄膜需先將金屬材料放在真空室內(nèi)讓金屬上面的特殊氣體產(chǎn)生電漿后金屬上的原子就會被撞向玻璃然后就形成一層層的金屬薄膜了.3)鍍完金屬膜后，我們還要鍍上一層不導電層與半導電層，在真空室內(nèi)，先將玻璃板加溫，然后由高壓電的噴灑器噴灑特殊氣體，讓電子與氣體產(chǎn)生電漿，經(jīng)過化學反應后，玻璃上就形成了不導電層與半導體層。4)薄膜形成后，我們要在玻璃上

8、制作電晶體的圖案。首先，要進入黃光室噴上感光極強的光阻液，然后套上光罩照射藍紫光進行曝光，最后送到顯影區(qū)噴灑顯影液，這樣可以去除照光后的光阻，還可以讓光阻層定型哦。5)光阻定型后，我們可用蝕刻進行濕式蝕刻，將沒有用的薄膜露出，也可用電漿的化學反應進行干式蝕刻，蝕刻后再將留下的光阻以溜液去除，最后就產(chǎn)生電晶體所需要的電路圖案了。6)要形成可用的薄膜電晶體，需要重復清洗，鍍膜，上光阻，曝光，顯影，蝕刻，去光阻等過程，一般來說，要制造TFTL

9、CD，就要重復5到7次。2組立制程1)完成薄膜電晶體玻璃基板后，我們就要進行液晶面板的組合了，液晶面板是由電晶體玻璃基板與彩色濾光片組合而成，首先，我們要先將玻璃洗干凈，再進行下一個步驟。TFTLCD的整個制造過程都必須在無塵室內(nèi)，這樣才不會有雜質在顯示器里面。2)彩色濾光片是以化學涂布的方式，在玻璃上形成紅、綠、藍的顏色，整齊排列后再覆蓋一層會導電的薄膜即完成。3)在整個組合的過程中，首先我們要為布滿電晶體的玻璃和彩色濾光片涂上一層化

10、學薄膜，然后再進行配向的動作。4)在組合二片玻璃板之前，我們要先平均布滿類似球狀的隙子固定間隔，以免液晶面板組合后，二片玻璃向內(nèi)凹曲。通常液晶面板在組合時，會留下一個或二個缺口，以利后續(xù)灌入液晶，接著就以框膠及導電膠封在二片玻璃邊緣，如此就完成玻璃的組合了。5)封完邊框之后，就將液晶面板放到真空室，透過剛才預留的缺口把液晶面板的空氣抽掉，然后籍助大氣壓力灌入液晶，再將缺口封閉，而液晶是一種介于固體和液體之間的化合物質，具有規(guī)則分子排列的

11、特性。6)最后再貼上二片垂直方向的偏光片，整片液晶面板即算完成。3)在整個組合的過程中，首先我們要為布滿電晶體的玻璃和彩色濾光片涂上一層化學薄膜，然后再進行配向的動作。4)在組合二片玻璃板之前，我們要先平均布滿類似球狀的隙子固定間隔，以免液晶面板組合后，二片玻璃向內(nèi)凹曲。通常液晶面板在組合時，會留下一個或二個缺口，以利后續(xù)灌入液晶，接著就以框膠及導電膠封在二片玻璃邊緣，如此就完成玻璃的組合了。5)封完邊框之后，就將液晶面板放到真空室，透