薄膜物性測量中的假象分析(1)-難分難解的介電“弛豫

1、：【原創(chuàng)原創(chuàng)】薄膜物性測量中的假象分析薄膜物性測量中的假象分析(1)難分難解的介電難分難解的介電“弛豫弛豫”::Artifactsinfilmsacterizations(1)fakerelaxations圖1薄膜介電譜實驗假象及擬合本篇主要討論薄膜材料的介電性測量容易出現(xiàn)的假象及避免方法，用實驗結(jié)果和等效電路分析說明薄膜的電極到instruments的contact制作是非常關(guān)鍵的，通常被大家采用的針尖碰觸薄膜上的點電極的做法是非常不

2、足取的方法，應(yīng)該制備牢固的contact并設(shè)法使用贗四點法實現(xiàn)測量。作為引言，從本人的一段經(jīng)歷說起，幾年前，我開始研究某種材料的薄膜制備和磁、電性能的測量，因為比較急躁，一開始就想看看電性能受磁場的影響到底怎樣，受設(shè)備的限制，因為磁場和介電測量在兩家外單位做，不可能進(jìn)行原位的觀察，只能先進(jìn)行強(qiáng)磁場處理圖4薄膜電極點簡易制作效果圖片2、電極引線.從薄膜電極點到測量儀器，以前采用探針觸碰，現(xiàn)在使用銀漿連接引線，如圖5所示。圖5薄膜引線制作圖