無塵室運轉(zhuǎn)與維護管理-論文

1、無塵室運轉(zhuǎn)與維護管理無塵室運轉(zhuǎn)與維護管理簡介：簡介：無塵室潔凈度之維持和控制，除了硬設備之配合投資外，也需要良好的軟件——管理制度來搭配，方能維持良好的潔凈度；無塵室運轉(zhuǎn)管理，可依作業(yè)人員、原物料、設備及無塵室內(nèi)所用東西等加以探討；無塵室內(nèi)系統(tǒng)除了通稱的空調(diào)系統(tǒng)之外，制程設備也包括在內(nèi)，本節(jié)將對該二系統(tǒng)之運轉(zhuǎn)維護及保養(yǎng)做一概略說明。關鍵字：關鍵字：無塵室污染源運轉(zhuǎn)管理維護保養(yǎng)一、污染源控制一、污染源控制無塵室潔凈度之維持和控制，除了硬設

2、備之配合投資外，也需要良好的軟件——管理制度來搭配，方能維持良好的潔凈度。無塵室內(nèi)之微污染來源，經(jīng)測試分析結(jié)果，作業(yè)人員占約80%。實驗數(shù)據(jù)顯示，作業(yè)人員進出無塵室時塵埃有顯著增加，有人動作時，潔凈度馬上劣化，可見潔凈度劣化之原因人是主要因素。無塵室的污染源可分為外污染及內(nèi)污染源。外污染源主要包括空調(diào)送風、間隙滲入、建筑物、工作服、風管材料以及一般性氣體如N2、O2、Air、給水、溶劑等；而內(nèi)污染源則包括制程設備、工作人員、工具、加工制

3、程、隔間材料、工作桌、包裝材料等。對硅芯片而言，微塵粒子之附著將造成集成電路線路的變形或短路，使芯片失去運作功能，因此微污染源的控制已成為無塵室管理的重要環(huán)節(jié)。表一為自然環(huán)境所測得的塵埃濃度，可為設計參考，而在微污染控制，其基本原則有四：1.外部塵埃侵入之防止：無塵室適當之正壓保持（0.5mmAq），做好施工工程之不漏氣，人員設備、原材料搬入無塵室前先做好清潔擦拭等防塵動作，空氣過濾器適當?shù)墓芾砗驮O置。2.室內(nèi)發(fā)塵之防止：隔間板、地板等

4、無塵室材料的適當選用、制程設備的發(fā)塵抑制、生產(chǎn)自動化及人員不聚集、動作放松、潔凈衣的管理、使用無塵室專用器等。3.室內(nèi)發(fā)塵之不積留：墻壁體應光滑無死角、無塵室需定期保養(yǎng)和清掃、制程設備四周應留有空間。4.發(fā)生塵埃之排除：換氣次數(shù)應足夠，適當?shù)目臻g布置以及污染源接排氣和空調(diào)的氣流速度須適當。d.為控制發(fā)塵量，人員步行及作業(yè)要靜靜地進行。表2所示為人體在不同動作時之發(fā)塵量。e.作業(yè)要在潔凈之工作柜或工作桌進行。f.工具等器具須收入有蓋子之箱

5、子或柜中，并置放一定的場所。（6）作業(yè)人員須經(jīng)常保持干凈之手，除了常洗手、剪指甲外，手并應保養(yǎng)，以防皮膚之剝離，男性須每天刮胡子。（7）潔凈衣要經(jīng)常保持著衣之狀態(tài)。（8）下列所述者不能進入無塵室：a.非作業(yè)人員或事先未得許可者。b.未照規(guī)定穿著潔凈衣者。c.剛做激烈運動流汗者。d.吸煙或吃東西后，尚未經(jīng)過半小時以上者。圖4為吸煙和未吸煙者微塵產(chǎn)生量與時間之比較圖，由圖上很明顯可看出吸煙者所生之微塵在初期約為非吸煙者的90倍，直至30分鐘

6、后才降至15倍，此為為何無塵室禁止吸煙人員和吸煙未滿30分鐘不準進入的原因所在。故針對在無塵室作業(yè)人員之招募，若能選擇不吸煙者為對象，將可帶來甚大利益?！?.3m≥0.5m無塵服無塵服一般工作服白衣形全覆形普通作業(yè)服白衣形全覆形站立（靜姿）543，000151，00013，800339，000113，0005，580坐下（靜姿）44，800142，00014，800302，000112，0007，420腕上下4，450，000463，0

7、0049，0002，980，000298，00018，600上身前屈3，920，000770，00039，2002，240，000538，00024，200腕的自由運動3，470，000572，00052，1002，240，000298，00020，600頭的上下運動1，230，000187，00022，100631，000151，00011，000屈身4，160，0001，110，00062，5003，120，000605，00037