半導(dǎo)體無塵室安全工作規(guī)范36134

1、半導(dǎo)體無塵室安全工作規(guī)范半導(dǎo)體無塵室安全工作規(guī)范［作者：佚名轉(zhuǎn)貼自：互聯(lián)網(wǎng)點(diǎn)擊數(shù)：125更新時(shí)間：200697文章錄入：韓京子］【字體：】一、無塵室須知1.進(jìn)入無塵室前，必須知會(huì)管理人，并通過基本訓(xùn)練。2.進(jìn)入無塵室嚴(yán)禁吸煙，吃(飲)食，外來雜物(如報(bào)章，雜志，鉛筆...等)不可攜入，并嚴(yán)禁嘻鬧奔跑及團(tuán)聚談天。3.進(jìn)入無塵室前，需在規(guī)定之處所脫鞋，將鞋置于鞋柜內(nèi)，外衣置于衣柜內(nèi)，私人物品置于私人柜內(nèi)，柜內(nèi)不可放置食物。4.進(jìn)入無塵室須先

2、在更衣室，將口罩，無塵帽，無塵衣以及鞋套按規(guī)定依程序穿戴整齊，再經(jīng)空氣洗塵室洗塵，并踩踏除塵地毯(洗塵室地板上)方得進(jìn)入。5.戴口罩時(shí)，應(yīng)將口罩戴在鼻子之上，以將口鼻孔蓋住為原則，以免呼吸時(shí)污染芯片。6.穿著無塵衣，無塵帽前應(yīng)先整理服裝以及頭發(fā)，以免著上無塵衣后，不得整理又感不適。7.整肅儀容后，先戴無塵帽，無塵帽的穿戴原則系:(1)頭發(fā)必須完全覆蓋在帽內(nèi)，不得外露。(2)無塵帽之下擺要平散于兩肩之上，穿上工作衣后，方不致下擺脫出，裸露

3、肩頸部。8.無塵帽戴妥后，再著無塵衣，無塵衣應(yīng)尺吋合宜，才不致有褲管或衣袖太短而裸露皮膚之虞，穿衣時(shí)應(yīng)注意帽之下擺應(yīng)保平整之狀態(tài)，無塵衣不可反穿。9.穿著無塵衣后，才著鞋套，拉上鞋套并將鞋套整平，確實(shí)蓋在褲管之上。10.戴手套時(shí)應(yīng)避免以光手碰觸手套之手掌及指尖處(防止鈉離子污染)，戴上手套后，應(yīng)將手套之手腕置于衣袖內(nèi)，以隔絕污染源。11.無塵衣著妥后，經(jīng)洗塵，并踩踏除塵毯，方得進(jìn)入無塵室。12.不論進(jìn)入或離開無塵室，須按規(guī)定在更衣室脫無

4、塵衣，不可在其它區(qū)域?yàn)橹?，尤不可在無塵室內(nèi)邊走邊脫。13.無塵衣，鞋套等，應(yīng)定期清洗，有破損，脫線時(shí)，應(yīng)即換新。14.脫下無塵衣時(shí)，其順序與穿著時(shí)相反。15.脫下之無塵衣應(yīng)吊好，并放于更衣室內(nèi)上層柜子中鞋套應(yīng)放置于吊好的無塵衣下方。16.更衣室內(nèi)小柜中，除了放置無塵衣等規(guī)定物品外，不得放置其它物品。17.除規(guī)定紙張及物品外，其它物品一概不得攜入無塵室。18.無塵衣等不得攜出無塵室，用畢放置于規(guī)定處所。19.口罩與手套可視狀況自行保管或重

5、復(fù)使用。20.任何東西進(jìn)入無塵室，必須用灑精擦拭干凈。21.任何設(shè)備的進(jìn)入，請知會(huì)管理人，在無塵室外擦拭干凈，方可進(jìn)入。4.光罩使用時(shí)應(yīng)持取邊緣，不得觸及光罩面，任何狀況之下，光罩鉻膜不得與他物接觸，以防刮傷，光罩之落塵可以氮?dú)鈽尨抵?.曝光時(shí)，應(yīng)避免用眼睛直視曝光機(jī)汞燈。四、鑷子使用須知1.進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室后，應(yīng)先戴上手套后，再取鑷子，以免沾污。2.唯有使用干凈的鑷子，才可持取芯片，鑷子一旦掉在地上或被手觸碰，或因其它原因而遭污染，必須拿

6、去清洗，方可再使用。3.鑷子使用后，應(yīng)放于各站規(guī)定處，不可任意放置，如有特殊制程用鑷子，使用后應(yīng)自行保管，不可和實(shí)驗(yàn)室內(nèi)各站之鑷子混合使用。4.持鑷子應(yīng)采“握筆式“姿勢挾取芯片。5.挾取芯片時(shí)，順序應(yīng)由后向前挾取，放回芯片時(shí)，則由前向后放回，以免刮傷芯片表面。6.挾取芯片時(shí)，“短邊“(鋸狀頭)置于芯片正面，“長邊“(平頭)置于芯片背面，挾芯片空白部分，不可傷及芯片。7.嚴(yán)禁將鑷子接觸酸槽或D.IWater水槽中。8.鑷子僅可做為挾取芯片

7、用，不準(zhǔn)做其它用途。五、化學(xué)藥品使用須知1.化學(xué)藥品的進(jìn)出須登記，并知會(huì)管理人，并附上物質(zhì)安全資料表（MSDS）于實(shí)驗(yàn)室門口。2.使用化學(xué)藥品前，請?jiān)斪x物質(zhì)安全資料表(MSDS)，并告知管理人。3.換酸前必先穿著防酸塑料裙，戴上防酸長袖手套，頭戴護(hù)鏡，腳著塑料防酸鞋，始可進(jìn)行換酸工作。4.不得任意打開酸瓶的蓋子，使用后立即鎖緊蓋子。5.稀釋酸液時(shí)，千萬記得加酸于水，絕不可加水于酸。6.勿嘗任何化學(xué)藥品或以嗅覺來確定容器內(nèi)之藥品。7.不明

8、容器內(nèi)為何種藥品時(shí)，切勿搖動(dòng)或倒置該容器。8.所有化學(xué)藥品之作業(yè)均須在通風(fēng)良好或排氣之處為之。9.操作各項(xiàng)酸液時(shí)須詳讀各操作規(guī)范。10.酸類可與堿類共同存于有抽風(fēng)設(shè)備的儲(chǔ)柜，但絕不可與有機(jī)溶劑存放在一起。11.廢酸請放入廢酸桶，不可任意傾倒，更不可與有機(jī)溶液混合。12.廢棄有機(jī)溶液置放入有機(jī)廢液桶內(nèi)，不可任意傾倒或倒入廢酸桶內(nèi)。13.勿任意更換容器內(nèi)溶液。14.欲自行攜入之溶液請事先告知經(jīng)許可后方可攜入，如果欲自行攜入之溶液具有危險(xiǎn)性時(shí)