semi s2半導(dǎo)體制程設(shè)備安全準(zhǔn)則

1、SEMIS2半導(dǎo)體制程設(shè)備安全準(zhǔn)則2003年9月29日Content:1.目的；2.范圍；3.注意事項(xiàng)；4.參考標(biāo)準(zhǔn)；5.術(shù)語(yǔ)；6.安全理念；7.一般準(zhǔn)則；8.評(píng)估過(guò)程；9.提供給使用者的文件；10.危險(xiǎn)性警告標(biāo)志；11.安全連鎖裝置；12.緊急停機(jī)；13.電氣安全；14.消防安全；15.化學(xué)物質(zhì)加熱槽；16.人體工學(xué)；17.危險(xiǎn)能量隔離；18.機(jī)械設(shè)計(jì)安全；19.地震保護(hù)；20.自動(dòng)機(jī)械設(shè)備；21.環(huán)境因素；22.排氣；23.化學(xué)品安

2、全；24.游離輻射安全；25.非游離輻射安全；26.激光安全；27.噪音1.目的(PURPOSE)為半導(dǎo)體制程設(shè)備提供一套實(shí)用的環(huán)保、安全和衛(wèi)生準(zhǔn)則。2.范圍(SCOPE)適用于所有用于芯片制造、量測(cè)、組裝和測(cè)試的設(shè)備。3.注意事項(xiàng)(LIMITATIONS)3.1不可作為檢驗(yàn)是否符合本地法規(guī)要求的依據(jù)；3.2沒(méi)有提供非常詳細(xì)的半導(dǎo)體制程設(shè)備ESH準(zhǔn)則；3.3參考了眾多的國(guó)際性法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)等。但只是被引用的條文適用于此標(biāo)準(zhǔn)，并不是被引用的標(biāo)

3、準(zhǔn)或法規(guī)等所有條文都適用。4.參考標(biāo)準(zhǔn)(REFERENCEDSTARDS)4.1SEMIStards4.2ANSIStards(RadioFrequency)4.3CENCENELECStards(Explosion)4.4IECStards(Electrical)4.5ISOStards(Robotmanipulation)4.6NFPAStards4.7ACGIH(IndustrialVentilationManual)5.術(shù)語(yǔ)(T

4、ERMINOLOGIES)5.1不可燃物質(zhì)（Noncombustiblematerial）：在一般條件（anticipatedconditions）下，受熱或在火焰中不可燃燒，也不支持燃燒或遇熱不可釋放出易燃蒸汽之物質(zhì)。典型不可燃物質(zhì)有金屬、陶瓷、石英等。5.2可燃物質(zhì)(Combustiblematerial)：具有火焰?zhèn)鞑ツ芰虿粷M(mǎn)足上述“不可燃物質(zhì)”定義之物質(zhì)。5.3易燃?xì)怏w(Flammablegas)：在101.3KPa和20℃下

5、，可以和空氣形成可被點(diǎn)燃的混新帶來(lái)的破壞性后果。6.3必須考慮合乎工業(yè)、建筑、電氣、消防標(biāo)準(zhǔn)及政府法規(guī)之需要。6.4設(shè)備設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)該符合規(guī)范要求、工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、本標(biāo)準(zhǔn)以及良好的工程和制造規(guī)范。6.5任何可預(yù)見(jiàn)的失效或操作錯(cuò)誤而導(dǎo)致人員危害曝露、廠(chǎng)務(wù)設(shè)施危害曝露或社區(qū)危害曝露危害，以及導(dǎo)致死亡、重大傷害或重大設(shè)備損失的現(xiàn)象都是絕對(duì)不允許的。6.6設(shè)備必須有“失效也安全”(FAILSAFE)或“故障容許度”(FAULTTOLERANT)之設(shè)計(jì)。6

6、.7設(shè)備組件及配件都應(yīng)該符合設(shè)備制造商提供的等級(jí)級(jí)別或標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格。6.8設(shè)備設(shè)計(jì)初期，為鑒別和評(píng)估潛在危害，應(yīng)該進(jìn)行危害分析。當(dāng)設(shè)計(jì)成熟后，危害分析結(jié)果應(yīng)該更新。6.9危害分析應(yīng)該考量：設(shè)備制程或應(yīng)用、各個(gè)制程的危害、可能的失效模式、災(zāi)害發(fā)生的可能性以及嚴(yán)重性、危害曝露人員的專(zhuān)業(yè)水平和曝露頻率、操作和保養(yǎng)的頻率與復(fù)雜性、關(guān)鍵安全部件6.10控制危害的各種方法的選擇順序如下：設(shè)計(jì)時(shí)將之消除危害使用安全設(shè)施進(jìn)行防護(hù)工程控制提供安全警告設(shè)施工程

7、控制提供危害警告標(biāo)簽管理控制訓(xùn)練管理控制其他管理控制以上所有方法的組合6.11此準(zhǔn)則只是半導(dǎo)體設(shè)備設(shè)計(jì)時(shí)的最低考量。7.一般準(zhǔn)則(GENERALPROVISIONS)7.1設(shè)備應(yīng)符合一般安全規(guī)范，此準(zhǔn)則只是設(shè)備之采購(gòu)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范。次標(biāo)準(zhǔn)只是提供給用戶(hù)采購(gòu)符合SEMIS2的設(shè)備規(guī)范。若需要超出此準(zhǔn)則，則由使用者與廠(chǎng)商另行書(shū)面訂定之。7.2設(shè)備制造商應(yīng)保證設(shè)備符合當(dāng)?shù)刂行Х杉耙?guī)定。需要經(jīng)政府機(jī)構(gòu)許可的設(shè)備，必須通過(guò)當(dāng)?shù)卣k理許可證。7.3

8、設(shè)備供應(yīng)商應(yīng)該提供給用戶(hù)指定的代表來(lái)及時(shí)更新有關(guān)設(shè)備最新發(fā)現(xiàn)之危害因子或安全防護(hù)措施升級(jí)方案。7.4設(shè)備操作、維護(hù)使用的工具及附件必須由設(shè)備供應(yīng)商提供給用戶(hù)或者明確其規(guī)格。8.評(píng)估過(guò)程(EVALUATIONPROCESS))8.1評(píng)估方應(yīng)該按照此標(biāo)準(zhǔn)對(duì)設(shè)備進(jìn)行評(píng)估并寫(xiě)出書(shū)面報(bào)告。內(nèi)容包括手冊(cè)（9.6部分）和具體設(shè)計(jì)部分（本標(biāo)準(zhǔn)第10至第27部分）。只有當(dāng)使用到附錄時(shí)，附錄才算作報(bào)告的一部分。8.2對(duì)于每個(gè)部分，評(píng)估報(bào)告皆應(yīng)敘述下列項(xiàng)目并