26984.基于微環(huán)諧振器的光學(xué)加速度地震檢波器的研究

1、華中科技大學(xué)博士學(xué)位論文基于微環(huán)諧振器的光學(xué)加速度地震檢波器的研究姓名：莫文琴申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：博士專(zhuān)業(yè)：光學(xué)工程指導(dǎo)教師：周治平20110518華中科技大學(xué)博士學(xué)位論文華中科技大學(xué)博士學(xué)位論文II可探測(cè)信號(hào)；而高Q值將從很大程度上降低光譜噪聲，提高系統(tǒng)的波長(zhǎng)探測(cè)極限。(5)在原有的單環(huán)設(shè)計(jì)上進(jìn)行改進(jìn)，選用FSR不同的微環(huán)進(jìn)行級(jí)聯(lián)，利用“游標(biāo)尺”技術(shù)，F(xiàn)SR最小的微環(huán)保證測(cè)量極限，而FSR最大的微環(huán)保證系統(tǒng)的測(cè)量范圍。模擬分析表明：在信噪比

2、SNR=30的探測(cè)系統(tǒng)下，光強(qiáng)檢測(cè)方式的動(dòng)態(tài)范圍從29.1dB提高到47.6dB；同時(shí)波長(zhǎng)探測(cè)的動(dòng)態(tài)范圍與單環(huán)相比也提高了一倍。(6)對(duì)微環(huán)的加速度制備工藝進(jìn)行了研究，給出了光波導(dǎo)和機(jī)械振動(dòng)部分制備的工藝流程。利用電子束光刻、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積、感應(yīng)耦合等離子體刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)跑道型微環(huán)諧振器的制備；通過(guò)以二氧化硅為掩膜的輔助光刻以及硅片背面刻蝕技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)振動(dòng)部分的制備。制備了跑道型微環(huán)諧振器，測(cè)試結(jié)果表明特征譜線的消光比達(dá)到9.772