lanio3電極與bi3.15nd0.85ti3o12lanio3si鐵電薄膜的制備及性能研究

1、分類號(hào)UDCTB34碩士學(xué)位論文LaNi03電極與B131sNdo8sTi3012／LaNi03／Si膜的制備及性能研究論文答辯日期容世龍鐵電薄2Q!魚!Q5115學(xué)位授予日期20160630LaNi03電極與Bi315Ndo85Ti3012／LaNi03／Si鐵電薄膜的制備及性能研究摘要Bi315Ndo85Ti3012(BNT)是目前研究者比較熱衷的一種鐵電材料。因?yàn)槠溆休^大的剩余極化值，良好的抗疲勞特性，無(wú)Pb，被廣泛應(yīng)用于非揮發(fā)性

2、鐵電隨機(jī)存儲(chǔ)器的制造。LaNi03(LNO)導(dǎo)電氧化物有著和BNT薄膜鈣鈦礦結(jié)構(gòu)非常相似的贗鈣鈦礦結(jié)構(gòu)，能與BNT鐵電薄膜實(shí)現(xiàn)匹配生長(zhǎng)。導(dǎo)電性能又好，將LNO薄膜作為底電極有著廣闊的空間。BNT鐵電薄膜的熱處理工藝，底電極的選擇等對(duì)其鐵電性能、抗疲勞性能、漏電流性能影響很大，本文將以BNT鐵電薄膜和LNO導(dǎo)電氧化電極為研究對(duì)象，研究和探討了熱處理工藝，摻雜等對(duì)Au／BN刪O／Si(100)結(jié)構(gòu)薄膜結(jié)晶情況，表面形貌，鐵電性能，抗疲勞性能

3、，漏電流密度的影響，并比較了以LNO為底電極和以Pt為底電極時(shí)BNT鐵電薄膜性能的優(yōu)劣。論文的探討的內(nèi)容及結(jié)果有以下幾點(diǎn)：(1)以Ni(CH3COO)24H20、La(N03136H20為原材料，CH3COOH為溶劑，采用S01Gel工藝能成功制備出性能穩(wěn)定的LaNi03溶膠。在Si(100)襯底上采用旋轉(zhuǎn)涂膜的方法來(lái)制備LNO導(dǎo)電氧化物薄膜，構(gòu)成LNO／Si(100)結(jié)構(gòu)。分別分析了不同熱處理溫度，不同熱處理時(shí)間對(duì)LNO薄膜的結(jié)晶情況

4、，電阻率的影響?？梢园l(fā)現(xiàn)在退火溫度為680。C，退火時(shí)間為60min的條件下得到的LNO薄膜結(jié)晶性能最好，電阻率最低約為15x10。Q鋤。此條件下得到的LNO薄膜表面致密，光滑平整，表面粗糙度均方根值為I5rim，能夠滿足作為BNT鐵電薄膜底電極的條件。(2)采用旋轉(zhuǎn)涂膜的方法在制備好的LNO／Si(100)襯底上制備出BNT鐵電薄膜，構(gòu)成BNT／LNO／Si(100)結(jié)構(gòu)。研究了不同退火溫度，不同退火方式，對(duì)BNT／LNO／Si(10