合成量子點微化學機械系統(tǒng)的開發(fā)與試驗研究.pdf

1、南京工業(yè)大學碩士學位論文合成量子點微化學機械系統(tǒng)的開發(fā)與試驗研究姓名：王豪杰申請學位級別：碩士專業(yè)：化工過程機械指導教師：涂善東200706合成量子點微化學機械系統(tǒng)的開發(fā)與試驗研究A B S T R A C TQ m 咖d o t s ( Q D s ) a r es e m i c o n d u c t o r c 巧s t a J ．s 誦t h a l l t l l r e e d i m e n S i o l l s a

2、tn a n o - s c 甜e ．T h e y a r e o fs i g I l i f i c 觚t s c i e n t i f i c a n dc o m m e r c i a l i I l t e r e s t o w i n gt 0t l l e i rt u n a _ b l eo p t i c a la n de l e c 仃o I l i c p r o p e n i e s ，a I l

3、dw i d ep o t e n t i a l a p p l i c a t i o n si l l b i o —t a g g i n g ，e l e c 仃o I l i ca l l d s e n s i n gd e V i c e s ．R 印i du l l i f o 衄m i x i I 培a n ds t e a d yt e m p e r a _ t u r cf i e l d a r et w o

4、 k e y f ．a c t o r Si 1 1 t 1 1 ep r 印a r a t i o no f Q D s ．H o 、Ⅳe V e r ，m e s et w o f ．a c t o r sc a n n o t b ea c l l i e v e du s i n gt r a d i t i o n a l p r o c e s se q u i p m e n t ．A s an o V e lt c c

5、l u 】l o l o g y ，M i c r 0 一C h e m o - M e c h a l l i c a lS y s t e m ( M C M S ) ，i I l c l u d i n g m i c r o m i x e r ，l I l i c r o h e a t e x c h a I l g e r a n dm i c r o r e a c t o r ，i sd e 6 n e d a Sm

6、i l l i 柵i z e d c h e m i c a l p r o c e s se 舢p m e n t 晰m i t sc h a r a c t e r i s t i cs i z eo f i n t e m a lg c m c t u r e st y p i c a l l ym I I l i c r o m e t e r ．1 ki n t r i n s i ca d V a n 船g eo f M C

7、 M S i s U 1 a tt e n l p e r ：拋r e鋤dc o n c e n t r a t i o nc a l lb e c h a I l g e dr a p i d l y 觚dr 印r o d u c i b l yo n Ⅱl es c a l eo f l I l i c r o m e t e r sa n dm i l l i s e c o n d s ，嬲d e s i r e df o rQ

8、 D s s ”l m e s i s ．S e v e r a lm i c r o r e a c t o r a p p r o a C h e s 、Ⅳe r ed e V e l o p e d t 0p r e p a r eQ D s i n r e c e n t y e a r s ．B a S e do nt h ee x i s t i n gr I l i c 賊。e a c t o ra p p r o a c

9、 h e s ，an e w s i I n p l eM C M S f o rC d S eQ D sp r e p a r a t i o ni s d e V e l o p e d i I l t l l i st 1 1 e s i s ．T h em 萄0 rt a s k S 齜l di I l I l 0 V a t i o n sa r ed e s c r i b e d 舔f o l l o w s ：1 ) 1

10、 kl a y o mo f n l e M C M Si s f i r s t p r o p o s e d b a S e d 0 n Ⅱ1 eC d S eQ D ss ) ，1 1 n l e s i s砸n c i p l e ．Ap e r i s t a J t i cp u m p 、Ⅳa sc h o s e n 嬲m er e a g e n t - f e e d i n gd e v i c e ．A ni

11、n t e r d i g i t a ld i s t r i b 此呵m i c r o 】n i X e r a I l da 血c r 0 ] r e a C t o r o f m u l t i —1 1 e a te X c h a I l g ez o n e s w e r e d e s i g I l e d 嬲n l ek e y p 硪s o f t h e M C M S ．2 ) ，n l e r e l

12、a t I 耐m i c r o f ．a b r i c a t i o n t e c l l I l i q u e s w e r e r e v i 嘶，e d ．W i r e p o l e E l e c 仃i c a lD i s c h a 唱eM a c K l l i n g ( 、Ⅳ，E D M ) w 嬲s e l e c t e dt of o n nm i c r o c h a 衄e l si nt 1

13、 1 e M C M S ．7 I ．1 礬es u c c e s s m l a p p l i c a t i o n so f n l i sm e t l l o da r e p r e s e m e d ．3 ) n l e m i c r o m i x e ra 1 1 dm e 血c r o r e a C t o r i I lm e M C M S w e r ef a b r i c a t e db ya

14、s e r i e so fs p e c i f i co p e r a t i o I l S ．T ＼Ⅳ0d i 毹r e n t a S s e m b l yo p e r a t i o I l sw e r ec o I I l p l e t e du s i n gI n e c h a 面c a lb o n d s e a l i n ga n d d i 瓶s i o nb o n d i n g ，r e s

15、 p e c t i V e l y ．4 ) I n o r d e rt 0c o n f i n nn l ef e 嬲i b i l i 夠o f t h ep r e p 刪t i o n ，S S 3 0 4c 印i l l a 巧w 硒u S e d 勰Ⅱ1 es i m p l em i c r o r e a c t o r o f t h eM C M S ．C d S e s 鋤p l e s w e r ep r

16、 e p a r e d a td i 虢r e n t r e s i d e n c et i m e s a n d t e m p e r a t u r e si I lo r d e r t 0V e r i 匆Ⅱl ef e a S i b i l i 夠o f t h eM C M S ．K e yw o r d s M i c r 0 - C h e m 0 一M e c h a I l i c a l S y S t