飛秒激光雙光子二維并行微細加工的研究.pdf

1、作為一種新型的激光成型技術，飛秒激光雙光子微細加工具有真三維的制作能力和亞微米的加工分辨率等技術特點，在MEMS研究領域受到越來越廣泛的重視。由于該技術的加工效率較低，無法滿足MEMS批量加工的要求，因此，并行加工已經(jīng)成為該技術發(fā)展的瓶頸。本文結合國家自然科學基金項目——飛秒激光功能微部件加工技術研究(No.50335050)的主要研究內容，搭建了飛秒激光雙光子微細并行加工實驗系統(tǒng)，初步實現(xiàn)了飛秒激光二維并行微細加工。本文的主要成果如下

2、： 首先，在總結國內外研究方法的基礎上，設計并加工微透鏡陣列，將其用于飛秒激光加工系統(tǒng)上，實現(xiàn)分束聚焦，多焦點并行加工。自行設計、搭建飛秒激光并行微細加工系統(tǒng)，成功實現(xiàn)了不同材料的二維字母結構的并行加工。同時對系統(tǒng)加工一致性，分辨率進行分析。 其次，針對系統(tǒng)加工一致性，提出激光光束勻化整形的解決方法。設計了兩種勻化整形的二元光學器件，對其整形效果進行理論仿真，計算了其衍射效率。為進一步提高并行加工系統(tǒng)加工效率，提高能量利