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1、隨著半導(dǎo)體激光器日益廣泛的應(yīng)用,對(duì)激光光束質(zhì)量的評(píng)價(jià)越來(lái)越重要,而激光光束遠(yuǎn)場(chǎng)發(fā)散角是評(píng)價(jià)激光質(zhì)量的一個(gè)重要參數(shù),它不但能反映遠(yuǎn)距離傳輸時(shí)的激光發(fā)散特性,而且能準(zhǔn)確評(píng)估出半導(dǎo)體激光器的品質(zhì)及激光的傳輸質(zhì)量。因此,對(duì)發(fā)散角測(cè)量的研究成為當(dāng)今半導(dǎo)體激光技術(shù)發(fā)展的一個(gè)重要課題。
本文提出了利用雙探頭直接檢測(cè)光斑邊界點(diǎn)來(lái)測(cè)量發(fā)散角的方法。采用兩個(gè)光電探測(cè)器分別檢測(cè)光束不同高度上的兩個(gè)光斑,在確定光斑中心最大光強(qiáng)值后,根據(jù)光斑截面尺寸的
2、1/e2定義,得到光斑截面邊界點(diǎn)的光強(qiáng)值,并以其為標(biāo)準(zhǔn)判定光斑截面的邊界點(diǎn),對(duì)探測(cè)到的邊界點(diǎn)通過(guò)最小二乘法進(jìn)行擬合,得到橢圓光斑截面的方程,根據(jù)空間幾何關(guān)系求出發(fā)散角。
基于上述設(shè)計(jì)思路,本課題設(shè)計(jì)了發(fā)散角的整個(gè)測(cè)試系統(tǒng)。步進(jìn)電機(jī)帶動(dòng)光電探測(cè)器進(jìn)行光強(qiáng)檢測(cè),用來(lái)探測(cè)邊界點(diǎn);兩個(gè)光電探測(cè)器之間的分時(shí)控制通過(guò)模擬開(kāi)關(guān)來(lái)實(shí)現(xiàn);選用光電編碼器,搭建步進(jìn)電機(jī)的閉環(huán)控制系統(tǒng);根據(jù)半導(dǎo)體激光器本身的參數(shù)特性,建立發(fā)散角和溫度的數(shù)學(xué)模型,對(duì)測(cè)
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