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1、國函步≥長≯、絮XI’ANTECHNOLOGICALUNIVERSITY碩士學(xué)題目:角分辨空間激光散射測量技術(shù)研究密級五分類號IN2壘Z、又作者:王少剛指導(dǎo)教師:高愛華教授申請學(xué)位學(xué)科:測試計量技術(shù)與儀器2016年5月24日ResearchontheMeasurementTechnologyoftheAngularResolutionofSpaceLaserScatteringDiscipline:MeauringandTestingT
2、echnolohgiesandInstrumentsStudentSignature:SupervisorSignature:M良h暑S‰o護(hù)各島移勵’MAbstractMeasuringthespatialscatteringlightontheopticaldemem’Ssurfaceafterionetchingisofgreatsignificant,whichcanobtainmicrogeometryoftheoptical
3、elemem,evaluatetheopticalpropertiesofopticalelementsandimprovetheprocessofionetchingSothedeepresearchonthemeasurememsystemismadeinthispaperFocusingonthetechniqueofbeamshaping,thedesignofthemechanicalstructureandthetechno
4、logyofrelateddetection,thedesignschemeofthemeasurementsystemispresentedafterdeeplystudyingthemeasurementtheoryonscattering,whichisbasedonthetheoryofbidirectionalreflectancedistributionfunction。Thehardwarepartoftheme觥emen
5、tsystemismainlycomposedofthreemodulesasfollows,theopticalmodule,themechanicalmoduleandthesignalacquisitionandcontrolmoduleInthepartoftheopticalmodule,themodulationoflightsource,beamexpandingandcollimation,spatialfilterin
6、goflightbeam,beamfocusing,thechangeoftheincidenceangleandtheeliminationofthestraylightaleallcometrueAndforthemechanicalmodde。themeasurementrangeofzenithangle00~900andazimuthangle00~3600isachievedInaddition,thehighprecisi
7、onmeasurementonthesignalofweakspatialscatteredlightisalsosuccessfullyrealizedbythetechnologyofcorrelationdetectioninthesignalacquisitionandcontrolmoduleInadditiontothehardwarestructure,theSoftwaremodule,whichisdevelopedb
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