HSGFET型O-,3-傳感器敏感特性及其測試系統(tǒng)的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、近年來臭氧在人類的生活和生產中日益發(fā)揮重要的作用，人們對臭氧危害的認識也日益提高，對臭氧(尤其是ppb范圍的低濃度臭氧)的監(jiān)測和控制已被提到日程上來。通過研究發(fā)現(xiàn)，利用懸浮柵結構和功函數變化的方法研制的HSGFET型臭氧傳感器能夠實現(xiàn)對低濃度臭氧的測量。此方法具有小型化、固態(tài)化、功耗低、靈敏度高和響應速度快的特點，同時能夠在室溫下工作，為低濃度臭氧的測控提供了重要途徑。 本文系統(tǒng)分析了臭氧在敏感膜表面的單分子層與多分子層吸附模型

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