不同溫度下納米硅（100）面薄膜楊氏模量的分子動(dòng)力學(xué)研究.pdf_第1頁(yè)
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1、隨著納機(jī)電系統(tǒng)(Nano-electromechanical system，NEMS)技術(shù)的進(jìn)步，納米薄膜、納米梁、納米線、納米管和納米帶等各種納米結(jié)構(gòu)的機(jī)械特性都受到了普遍的關(guān)注。由丁NEMS器件的尺寸較小、比表面積增人，傳統(tǒng)宏觀的連續(xù)理論難以解釋小尺寸效應(yīng)以及表面效應(yīng)。為了得到高可靠性的NEMS器什，深入理解納米尺度卜諸如楊氏模量和硬度等機(jī)械特性是至關(guān)重要的。其中，NEMS器件中最常見的、最簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)--納米薄膜或納米板的機(jī)械特性成

2、為近年的研究熱點(diǎn)領(lǐng)域之一。 本文采用分子動(dòng)力學(xué)計(jì)算軟件---Forcite研究了溫度在100K～500K之間硅(100)面 8 層和16層原子厚納米薄膜的兩個(gè)方向[110]與[110]的楊氏模量隨溫度變化的特性。得到結(jié)論如下：第一，[110]與[110]的楊氏模量在數(shù)值的大小上差別較大，[110]方向上的楊氏模量要比[110]方向上的楊氏模量大，[110]與[110]不再等效。這主要是由于表面弛豫與重構(gòu)使得兩個(gè)方向的表面應(yīng)力不同

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