多晶硅太陽電池表面織構(gòu)化工藝的研究.pdf

1、表面織構(gòu)化(制作絨面)是提高太陽電池效率的重要手段。多晶硅表面織構(gòu)工藝，目前在工業(yè)化生產(chǎn)中還沒有全面推廣。如何判絨面的質(zhì)量，以及如何實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的工業(yè)生產(chǎn)等問題還有待解決。本文研究了以硝酸和氫氟酸為基礎(chǔ)的腐蝕液對(duì)多晶硅表面的化學(xué)腐蝕。 酸的濃度對(duì)硅片的微觀形貌、腐蝕速率、溶液穩(wěn)定性等方面的有較大影響。硝酸或氫氟酸濃度的微小變化都會(huì)影響硅片表面形貌，因此要保證絨面形貌，必須嚴(yán)格控制溶液濃度，使之保持在一定的濃度范圍。在大批量工業(yè)生產(chǎn)中

2、，隨著酸的消耗，必然導(dǎo)致溶液濃度的變化，及時(shí)調(diào)整溶液濃度是保證工業(yè)生產(chǎn)的一個(gè)關(guān)鍵問題。 微觀形貌對(duì)電池生產(chǎn)工藝和電池性能有一定的影響。反射率較低的樣品，晶體缺陷處和晶界處會(huì)被腐蝕得比較深，對(duì)清洗、鈍化、印刷電極等造成不利影響；反射率較高的樣品，有比較平整的表面形貌，但陷光效果不理想。如何兼顧光學(xué)性能和電學(xué)性能，選擇最合適的微觀形貌，是制作多晶硅絨面要解決的一個(gè)主要問題。 本文應(yīng)用絨面技術(shù)工藝，在125mm×125mm的多